AT200M(글러브박스에 들어갈 만큼 작은 크기)은 시중에서 구입할 수 있는 가장 작은 크기의 ALD(원자층 증착) 시스템입니다.
4인치 AT410 모델은 맞춤형 척/플래튼 또는 챔버(3D 부품용)를 갖춘 시중에서 가장 가성비높은 써멀 ALD 장비입니다.
6인치 AT650P는 다운스트림 플라즈마를 갖춘 비용 효율적인 데스크톱 플라즈마 ALD 시스템입니다.
AT650T는 플라즈마로 업그레이드가 가능한 6인치 데스크톱 써멀 ALD 시스템입니다.
ATOzone(오존 발생기) 시스템은 아주 작은 크기로 고농도(최대 12%) 오존을 전달하는 고품질 오존 발생기 입니다
AT610은 시장에서 가장 비용 효율적인 6인치 데스크탑써멀 ALD 시스템입니다.
맞춤형 척/챔버/플래튼(소형 또는 3D 부품용).
정사각형 기판을 고정할 수 있습니다.
AT810 모델은 8인치 데스크탑 열 ALD 시스템입니다.
맞춤형 척/챔버/플래튼(소형,3D 부품 또는 다중 부품배치 용).
정사각형 기판을 고정할 수 있습니다.
노광기용 (마스크 얼라이너)
옐로우 룸
-UV차광용 옐로우 부스
(세부 사항은 상담요망)
스핀코터/Spincoater 4포인트프로브/4PointProbe 마스크얼라이너/MaskAligner 선하야토/Sunhayato PCB 제작시스템
파릴렌코터/Parylenecoater 에처/커터
재성ITS co, Tel:031-479-4211/2 Mail: contrabase26@gmail.com jsi@jsits.com
경기도 안양시 동안구 엘에스로 92 국제유통센터 17동 127호