À缺ITS´Â ¹ÝµµÃ¼°ü·Ã Àåºñ Á¦ÀÛ¹× ¼öÀÔ ÆǸž÷üÀÔ´Ï´Ù.
¸¶½ºÅ©
¾ó¶óÀ̳Ê4 |
¸¶½ºÅ©
¾ó¶óÀ̳Ê5 |
¸¶½ºÅ©
¾ó¶óÀ̳Ê3
|
||||||||
|
||||||||||
AT200M(±Û·¯ºê¹Ú½º¿¡ µé¾î°¥ ¸¸Å ÀÛÀº Å©±â)Àº ½ÃÁß¿¡¼ ±¸ÀÔÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °¡Àå ÀÛÀº Å©±âÀÇ ALD(¿øÀÚÃþ ÁõÂø) ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù. |
4ÀÎÄ¡ AT410 ¸ðµ¨Àº ¸ÂÃãÇü ô/Ç÷¡Æ° ¶Ç´Â è¹ö(3D ºÎÇ°¿ë)¸¦ °®Ãá ½ÃÁß¿¡¼ °¡Àå °¡¼ººñ³ôÀº ½á¸Ö ALD ÀåºñÀÔ´Ï´Ù. |
6ÀÎÄ¡ AT650P´Â ´Ù¿î½ºÆ®¸² ÇöóÁ¸¦ °®Ãá ºñ¿ë È¿À²ÀûÀÎ µ¥½ºÅ©Åé ÇöóÁ ALD ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù. |
AT650T´Â ÇöóÁ·Î ¾÷±×·¹À̵尡 °¡´ÉÇÑ 6ÀÎÄ¡ µ¥½ºÅ©Åé ½á¸Ö ALD ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù. |
ATOzone(¿ÀÁ¸ ¹ß»ý±â) ½Ã½ºÅÛÀº ¾ÆÁÖ ÀÛÀº Å©±â·Î °í³óµµ(ÃÖ´ë 12%) ¿ÀÁ¸À» Àü´ÞÇÏ´Â °íÇ°Áú ¿ÀÁ¸ ¹ß»ý±â ÀÔ´Ï´Ù |
AT610Àº ½ÃÀå¿¡¼ °¡Àå ºñ¿ë È¿À²ÀûÀÎ 6ÀÎÄ¡ µ¥½ºÅ©Å¾½á¸Ö ALD ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù. |
AT810 ¸ðµ¨Àº 8ÀÎÄ¡ µ¥½ºÅ©Å¾ ¿ ALD ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù. |
||||
³ë±¤±â¿ë (¸¶½ºÅ© ¾ó¶óÀ̳Ê) (¼¼ºÎ »çÇ×Àº »ó´ã¿ä¸Á) |
||||||||||
|
||||||||||
½ºÇÉÄÚÅÍ/Spincoater 4Æ÷ÀÎÆ®ÇÁ·Îºê/4PointProbe ¸¶½ºÅ©¾ó¶óÀ̳Ê/MaskAligner ¼±ÇϾßÅä/Sunhayato PCB Á¦À۽ýºÅÛ
|