노광 장비(Exposure-Unit) JEX-5050 ,ESC척 제작용 노광기

-사양,

노광장치

1. 목적:  Dry Photoresist:  노광
2. 시료 사이즈(mm)   최대 500x500 mm., 알루미나 기판  DFR 적용

1. 장비 구성

      1) 콘트롤러
               2) 노광 챔버
               3) 자외선 램프 유닛
               4) 배기장치
               5) 냉각장치

1. 사 양
1. 콘트롤러 타이머; 1~999초
   진공펌프, 100L/ min.

1. 노광 챔버 :기판의 수동 로딩 및 언로딩
   Fan 냉각 시스템
   

1. 램프유닛 : UV 램프
   파워서플라이

1. 배기 장치: fan

1. 냉각 장치 :노광챔버 냉각용

            6) 본체 및 전원 : SUS 304

              - 장비 사이즈,mm: 600(가로) x 800(세로) x 700(높이)
              - 전원; 220V, 단상, 1KW