노광 장비(Exposure-Unit) JEX-5050 ,ESC척 제작용 노광기

노광장치

1. 목적: Dry Photoresist:노광
2. 시료 사이즈(mm)   최대 500x500 mm., 알루미나 기판 DFR 적용

1. 장비 구성

      1) 콘트롤러
      2) 노광 챔버
      3) 자외선 램프 유닛
      4) 배기장치
      5) 냉각장치

    2. 사 양

1. 콘트롤러 타이머; 1~999초
   진공펌프, 100L/ min.

1. 노광 챔버 :기판의 수동 로딩 및 언로딩
   Fan 냉각 시스템
   

1. 램프유닛 : UV 램프
   파워서플라이

1. 배기 장치: fan

                 1. 냉각 장치 :노광챔버 냉각용

   본체 재질 : SUS 304

   장비사이즈: 600(가로) x 800(세로) x 700(높이)mm
   전원: 220V, 단상, 1KW