스핀코터용 핫플레이트(Hotplate) Home
업그레이더블 옵션
손쉬운 플레이트(척)교환
R&D와 Pilot Line용으로 적합
싱글용 또는 더블용 가능
듀얼 프로세싱이 가능한 히팅지역 (Several heater surface)
정확한 디지털 온도제어 1°C.
정밀한 온도제어가 필요한 PR의소프트베이크나 하드베이크 큐어링용으로 적합
사양:
Hot Plate with Cover with Lifting Pins(Optional)
-4인치 웨이퍼 Baking 용(6인치,8인치 옵션)
-정밀한 온도제어 가능
-온도범위:상온~230C
-타이머:1-999sec
-Temperature Unioformity :+_1C
-plate 사이즈: 130 x 130 mm -Suitable for 1 x 100 mm wafer
-Power Max :500w220 vac
-히팅판 :Aluminium (anodised)
-Housing Material : Stainless Steel
-치수:350 x 240 x135 mm
-뚜껑 :stainless steel
-시간 설정 종료후 Lifting pin up기능, alarm 기능
Hot Plate with cover
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