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JS-MAS1 MaskAligner 고해상도, 고성능 마스크 얼라이너             

  • 균일하고 높은 조사분포
  • 노광용 전원 내장
  • 간단한 조작으로 전후, 상하제어
  • LCD모니터 채용하여 빠르고 확실한 얼라인먼트
  • 다양한 시료 및 마스크 적용
  • 경량, 콤팩트이므로 이동 용이

   미    경

모델 명
JS-MAS1
노광면적
ø 100mm ,dia. 125mm ,dia. 200mm
노광 방식
단면(옵션:양면 가능)
Resolution
1 micron
마스크사이즈
최대 5인치 125mm x125mm, 6인치 150mmx 150mm,9인치(235mmx 235mm)
시료대
진공흡착 고정식 Glass Mask (필름마스크도 가능)
시료 두께
최대 2mm
매니퓨레이터 이동범위
X,Y: ±12 mm, 미동 1/8mm 1회전, Z: 12mm ,미동 0.2 mm, θ: ±7도
collimate half angle
1.° 이내
현미경,램프하우스
개별 회전 이동 식(수동)
노광용 타이머
0~999초 디지털 방식
치수
WxDxH/중량 : 850X650X900mm, 약 80 Kg,형태나 치수는 변동 가능
램프 냉각팬
램프 냉각 팬용 ON/OFF 지연 타이머
전원
*AC 220V 50/60 Hz, 11A
현미경
200~500배줌
모니터링방식
모니터 및 CCD카메라
베큠펌프
진공 로터리 펌프 포함
조  명
100V, 150W, 할로겐 램프 라이트 가이드식 수직 반사

진  공

0.5~0.8 Kg/CM2

마스크 홀더

진공흡착 고정식

마스크 글래스

진공흡착 고정식(필름 마스크 사용가)

마스크 사이즈

최대  5 인치X 5 인치

시  료  대

진공흡착 고정식

시  료

진공흡착 고정식

시료  사이즈

최대 4 인치Ø

세부 규격

- Manual alignment and Exposure system
- Manual Load and Unload
- motor drive Alignment Mode (옵션)
- Beam size :5"diameter
- Wafer Stage : X,Y,Z and theta Axis
- Tilted wafer stage
- Mask size : up to 5" x 5"
- 300w 초고압 수은등 or LED 램프
- air cooling unit for lamp
-Double CCD zoom microscope and 21" LCD Monitor
- Oil-less Vacuum Pump

2) System Specification
① Light Source Module
-300W 초고압 수은등or LED 램프 & Power supply
- Wavelength : NUV
- 365nm Max. Intensity : > 20 mw/cm2
- Max. Beam Size :5"diameter
- Beam Uniformity :5 % 이하


②DualCCD Microscope Module
- manual moving stage : X, Y, Z Axis and tilt stage
- Moving Distance
- 500X magnification
- Objective separation : 60 mm
- Y-Axis: 10mm
- 21" LCD Monitor
- Dual optic coaxial illumination


③ Stage Module
- Stage Moving Distance
- X, Y Axis : 5 mm
- Z Axis : 25 mm
- Theta Axis: 4 degree
- Stage Resolution
- X, Y Stage Resolution: 1㎛
- Theta : 0.1 degree
- Z Axis : 10㎛
- Align accuracy : <± 1~2 um
- tilt stage


⑤ Resolution
- Vacuum Contact : 1 um ( photoresist 1um@Si Wafer )

⑥ Utility
- Dimension(mm) : 1,000mm*800mm*1450mm[W*D*H]
- Electric Power : 220V,5Amp, 50/60Hz, 1 Phase
- N2 : More than 1kg/cm2 , Flow rate 5 Liter/min
- Out side diameter 6 mm Tube
- Air : More than 1kg/cm2
- Flow rate 10 Liter/min
- Out side diameter 6 mm Tube
- Vacuum: =600mmHg, ( Vacuum pump included )
- Exhaust: Lamp House Cooling
- Flow rate 10 Liter/min
- Weight : Equipment : 120 kg

 

 

- 협의에 따라 사양은 변경 가능

 

용도 :MEMS ,LithoGraphy..

납품처 :인하대, 가천대 시립대, NST, 외 다수업체

 

 

경기도 안양시 동안구 호계동 555-9
안양 국제 유통단지 17동 127호

Tel : (031) 479-4211/2, Fax : (031) 479-4213
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