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재성ITS는 반도체관련 장비 제작및 수입 판매업체입니다.

 


오존 클리너 (Ozon Cleaner)

Ozon cleaner


글래스, 필름 및 금속 표면에 생성된 유기물과 수분을 제거하며, 재료의 표면을 개질하여. 코팅되는 물질의 부착력 향상

선택사양; N2 purge, hot plate 등

용도:,글라스 PR 코팅전 처리

구 분
UVC2020
UVC3030
UVC6060
비고
Substrate Size
200x 200mm
300x 300mm
600x 600mm
 
UV Lamp
Low Pressure Mercury Lamp
Wave length 185nm, 254nm
디지털 타이머
최대 9999초
최대 9999초
최대 9999초
 
UV intensity
UV LED 20, 30 ,50, 75w
Lamp life span 2000 Hrs
Work Tray
SUS 304, polished
10.0 thick
Dimension
400Wx 400Wx 240H mm ,220v
600Wx 600Wx 440H mm ,220v
800Wx 800Wx 440H mm ,220v
Substrate Alignment No needed(any position)
Exposure time Digital timer, 1~9999sec.
exhaust forced fan


- 배기호스 5M 제공
- 시료 높이 3단 조절
- 표면개질 및 유기물 ashing 용
- UV leakage: 외부 leakage 없음,
- Interlock: 사용 중 chamber open시 기능정지

선택사양; N2 purge, hot plate 등

용도:,글라스 PR 코팅전 처리


 

Ozon cleaner

 

Mask Cleaner

반자동형
마스크 얼라이너

평행광 노광기

사각 기판용
평행광 노광기

ALD System(Atomic Layer Deposition)

espro Flowmeter

재성ITS co,
Tel:031-479-4211/2
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