오존 클리너 (Ozon Cleaner) 글래스, 필름 및 금속 표면에 생성된 유기물과 수분을 제거하며, 재료의 표면을 개질하여. 코팅되는 물질의 부착력 향상 선택사양; N2 purge, hot plate 등 용도:,글라스 PR 코팅전 처리 구 분 UVC2020 UVC3030 UVC6060 비고 Substrate Size 200x 200mm 300x 300mm 600x 600mm   UV Lamp Low Pressure Mercury Lamp Wave length 185nm, 254nm 디지털 타이머 최대 9999초 최대 9999초 최대 9999초   UV intensity UV LED 20, 30 ,50, 75w Lamp life span 2000 Hrs Work Tray SUS 304, polished 10.0 thick Dimension 400Wx 400Wx 240H mm ,220v 600Wx 600Wx 440H mm ,220v 800Wx 800Wx 440H mm ,220v Substrate Alignment No needed(any position) Exposure time Digital timer, 1~9999sec. exhaust forced fan - 배기호스 5M 제공 - 시료 높이 3단 조절 - 표면개질 및 유기물 ashing 용 - UV leakage: 외부 leakage 없음, - Interlock: 사용 중 chamber open시 기능정지 선택사양; N2 purge, hot plate 등 용도:,글라스 PR 코팅전 처리