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재성ITS는 반도체관련 장비 제작및 수입 판매업체입니다.

 

 

핫 프레스(Hot Press) JHPR-500

핫 프레스(Hot Press) JHPR-500

- 진공 핫프레스 사양, JHPR-500: 500x500mm

- 시료크기 :최대 500mm x 500mm

- 구 성
1. 공정 챔버 모듈 2. 전원 공급 장치 3. 진공 모듈 4. 시스템 제어 모듈
5. 후레임 모듈 6. 프레스 유닛? 7. 온도콘트롤러

(나) 사 양

1. 공정 챔버 모듈
   1) 공정 챔버
      챔버 재질 : Anodized aluminum
      챔버 포트 : View 포트 (셔터 포함), 게이지 포트, 가스 주입 포트

2. 프레스 유닛
   핫프레스 상하판
  chamber wall 재질 : Al2O3
   상하판에 온도 센서 설치


3. 시스템 제어 모듈

   PLC 제어 방식, 8” 칼라모니터
  아날로그/디지털 입출력 카드 포함

4. 후레임 모듈
   스틸 각관형 또는 AL 프로파일 구조

Mask Cleaner

반자동형
마스크 얼라이너

평행광 노광기

사각 기판용
평행광 노광기

ALD System(Atomic Layer Deposition)

espro Flowmeter

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