Spin Process Station:스핀프로세스 스테이션 (에칭, 디벨로핑,클리닝&드라잉) Spin Cleaning & Spin Drying

JS-12EDR : 스핀 프로세서 ( 세정 , 식각용 ,클리닝, 디벨로핑 용)

- 용도 : 불산 혼합산 에칭, 세정용 , 디벨로핑, 클리닝, 드라잉

1.Full 플래스틱 하우징

2.Single wafer process, 6~12inch ,조각 웨이퍼

3.Manual loading and unloading system

4.Acid-resistant materials and structure

5.Time : 1-999 sec/step

6.Speed :1-2.000 rpm

7.Vacuum Chuck,or mechanical Chuck or Non contact wafer chuck

8.Etch uniformity: + - 3%

9.2-6 chemicals(전처리용 ,본처리용 에천트..),IPA, DIW rinse and N2 dry

Substrate Front & Back Side In Situ Di Water Rinse

10.Temperature control for chemicals

11.Chemical flow control

12.Spray swing arm movement(Option)

스핀클리닝, 스핀 드라잉,스핀에칭, 스핀 디스펜싱

이지 LCD control:

-시간 :0-999sec/step

-RPM:0-2000

-Valve선택

 


1900Wx1200Dx1900H mm

 

Spin Process Station
 
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스핀에처, 스핀드라이어, 스핀디벨로퍼, 스핀클리닝,

  • Drying
  • Rinse/clean
  • Etching
  • Manual coating
  • Automatic coating
  • Developing

 

스핀 프로세서 시스템

[장비 사양]

스윙암형(or 리니어암 타입)디스펜서

[Feature]

- Substrate Size(Max.) : 100x100 ~200x200 MM (유저 협의 가능)

- Process step : 10 steps/ program,

- Memory Storage : 10 Programs

- Rotation Speed : 1 ~ 2500 rpm (`5,000 rpm for 6”)

- Acceleration ratio setup, Max. 10000RPM/sec. w/o load

- Run Time : 1~999sec,

[Specification]

- Body structure:Full Plastic

- Bowl :Full Plastic

Size :

Bowl Material : Full Plastic

- Swing Arm(or 리니어암 타입) dispenser

. 온도조절 가능 :0~60C

PR: 압력탱크 공급 방식

현상액: 압력펌프 방식

순수: 사용자 공급조건

Valve: 테프론, PFA

노즐 토출(Dispensing)

노즐: 테프론 또는 PFA 3ea(PR, Developer, DI water)

 

- Spin Motor, driver:

Rotation Speed: 1 ~ 3,000 rpm (기판 사이즈에 따라 가감 가능)

Spin accuracy: 1RPM @Max. RPM

Spin chuck UP/DOWN

- System Controller: Digital Type, PLC,or 수동형

- Display: LCD Touch Panel or수동 조작

 

- Accuracy : ±1 RPM

 

- 내부 LED 조명

- 상측 헤파필터 유닛 :옵션

- Drain:1~ 4 ports

Drain Bottle: PP 18 L

Dispensing nozzle: 1/8”~ 1/4” PFA tube end

Drain full level sensor

- Power Input : 1 phase, AC 220V, 50/60Hz

- Dimension (W X D X H) :

정면 유리 도어

Vacuum Chuck 포함

Alignment tool 포함 (wafer centering tool)

 

Utility

- Exhaust: 100A, 1 port

- N2: 2~3 Kg/cm2, 3/8” SWGLOK

- CDA: 5 Kg/ cm2 이상

- Electricity: 1 phase, AC 110/220V

 

재성ITS co.      Tel:031-479-4211/2   Fax:031-479-4213
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