ALD (Atomic Layer Deposition)
 
               
 

ALD systems and equipment for research to pilot lines, from thermal ALD equipment to plasma ALD equipment.
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AT200M
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AT200M

AT410

AT650P

AT200M(글러브박스에 들어갈 만큼 작은 크기)은 시중에서 구입할 수 있는 가장 작은 크기의 ALD(원자층 증착) 시스템입니다.
4인치 AT410 모델은 맞춤형 척/플래튼 또는 챔버(3D 부품용)를 갖춘 시중에서 가장 가성비높은 써멀 ALD 장비입니다.
6인치 AT650P는 다운스트림 플라즈마를 갖춘 비용 효율적인 데스크톱 플라즈마 ALD 시스템입니다.

AT650T

AT-OZONE Generator

AT610

AT650T는 플라즈마로 업그레이드가 가능한 6인치 데스크톱 써멀 ALD 시스템입니다.
ATOzone(오존 발생기) 시스템은 아주 작은 크기로 고농도(최대 12%) 오존을 전달하는 고품질 오존 발생기 입니다.
AT610은 시장에서 가장 비용 효율적인 6인치 데스크탑써멀 ALD 시스템입니다.
맞춤형 척/챔버/플래튼(소형 또는 3D 부품용).
정사각형 기판을 고정할 수 있습니다.

AT810

AT810 모델은 8인치 데스크탑 열 ALD 시스템입니다.
맞춤형 척/챔버/플래튼(소형,3D 부품 또는 다중 부품배치 용).
정사각형 기판을 고정할 수 있습니다.

 

                 
 

ALD Systems Comparison

Compare ALD equipment and systems manufacturedAnric Technologies. Compare by size and capability.

 
                 
 
AT200M
AT410M/610/810
AT650T
AT650P
 
 
 
  Desktop (W: ~11” (27.9cm) x D: 15” (38.1cm) x H: 14.5” (36.8cm))   Desktop (W: 24.5” (62.3cm) x D: 24” (61cm) x H: 15.75” (40.5cm))[610 D: 25″ (63.5cm)]   Desktop (W: 15” (38.1cm) x D: 15” (38.1cm) x H: Less that 38” (96.5cm))   Desktop (W: 15” (38.1cm) x D: 15” (38.1cm) x H: 38” (96.5cm))  
  Sample Size = 2 inch (x2) up to 2 x 2 x 2” volume   410 = 4 inch; 610 = 6 inch; 810 = 8 inch   6 inch   6 inch  
  Thermal to 300°C   Thermal to 320°C   Thermal to 400°C
(upgradeable to Plasma)
  Plasma and Thermal to
400°C
 
  One Precursor/One Counter
Reactant
  Three Precursors/ Up to Three Counter
Reactants
  Four Precursors/Four
Counter Reactants
  Four Precursors/Four
Counter Reactants
 
  Heated Precursor to 150°C   Heated Precursor to 180°C (N2 Assist Available)   3 Precursors to 185°C (with optional pressure boost) , 1 at RT   3 Precursors to 185°C (with optional pressure boost) , 1 at RT  
  All stainless steel chamber and metal sealed stainless lines   All aluminum chamber (hot walled) and metal sealed stainless lines   All aluminum chamber (warm walled) and metal sealed stainless lines and chuck   All aluminum chamber (warm walled) and metal sealed stainless lines and chuck  
  Heated lines and fast pulsing ALD valves   Heated lines and fast pulsing ALD valves   Heated lines and fast pulsing ALD valves   Heated lines and fast pulsing ALD valves  
  Ultrafast MFC   Ultrafast MFC   Up to four ultrafast MFCs   Up to four ultrafast MFCs  
  5” Display w. Integrated
PLC
  7“ Display with integrated
PLC
  10“ Display with integrated
PLC
  10“ Display with integrated
PLC
 
                 

 

     
 

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