소형 스핀에처/스핀디벨로퍼/스핀 린스 드라이어/EBR:Spin Cleaning & Spin Drying ,Spin Developer,SpinRinse Dryer,EBR

Jsi-803ARD Spin Spin Etcher, Spin Rinse Dryer,

-Full 플래스틱 하우징

-시료 : 웨이퍼 , 글래스

-시료크기 :Single wafer process, 4,6,8,12inch(옵션)

-Acid-resistant materials and structure

-Etching ,Rinsing, Dry 가능
- 3 Nozzle, (1nozzle for Acid washing, 2nozzle for DI-Water Rinsing)
-Body & Bowl :PVC
-Max Substrate :최대 200 MM Φ 150mm x 150mm
-Speed :100~3000rpm RPM
-Acuracy :+-0.5%,Speed Control Motor
-Step :3steps,
-Timer:0-999 seconds
-기본 Chuck 포함
Dimension : 430w*430h*370d mm :8인치 기준
용도:웨이퍼 ,글라스 코팅, 린싱,

Jsi-803AE EBR(Edge Bead Removal)

-EBR용도로 사용가능

-Full 플래스틱 하우징

-시료 : 웨이퍼 , 글래스

-시료크기 :Single wafer process, 4,6,8,12inch(옵션)

-Acid-resistant materials and structure

-Etching ,Rinsing, Dry 가능
- 3 Nozzle, (1nozzle for Acid washing, 2nozzle for DI-Water Rinsing)
-Body & Bowl :PVC
-Max Substrate :최대 200 MM Φ 150mm x 150mm
-Speed :250~3000rpm RPM
-Acuracy :+-0.5%,Speed Control Motor
-Step :3steps,
-Timer:0-999 seconds
-기본 Chuck 포함
Dimension : 430w*430h*370d mm :8인치 기준
용도:웨이퍼 ,글라스 코팅, 린싱

Spin coater JS 시리즈
기종	스핀코터	스핀 린스, 드라이어	스핀 디벨로퍼	스핀에처	Remarks
시료 크기	직경기준: 150∼500 mm이하	직경기준: 150∼500 mm이하	직경기준: 150∼500 mm이하	직경기준: 150∼500 mm이하	유저 와 협의
보울(Bowl) 재질	스텐레스 또는 NPP	스텐레스 또는 NPP	스텐레스 또는 NPP	스텐레스 또는 NPP
본체 재질	Suss, 스텐레스 재질	Suss, 스텐레스 재질	Suss, 스텐레스 재질	Suss, 스텐레스 재질
스핀 모터	스피드 콘트롤 모터	스피드 콘트롤 모터	스피드 콘트롤 모터	스피드 콘트롤 모터
회전수	250∼3000rpm	250∼3000rpm	250∼3000rpm	250∼3000rpm	시료크기에 따라 변동
회전단수	3단(아날로그 타이머)	3단(아날로그 타이머)	3단(아날로그 타이머)	3단(아날로그 타이머)	유저 와 협의
	0.2 sec∼500hrs	0.2 sec∼500hrs	0.2 sec∼500hrs	0.2 sec∼500hrs
전원	AC220V	AC220V	AC220V	AC220V
CDA or N2					유저 와 협의
진공	200 Torr 이상	200 Torr 이상	200 Torr 이상	200 Torr 이상
토출 노즐 갯수					유저 와 협의
옵션	시료척 기본 1개	시료척 기본 1개	시료척 기본 1개	시료척 기본 1개
	안전 커버	안전 커버	안전 커버	안전 커버
본체크기
	수동형 또는 자동형은 유저와 협의에 의해 결정 가능

• Drying
• Rinse/clean
• Etching :에천트의 종류와 용도에따라 차별화 필요
• Manual coating
• Automatic coating
• Developing