대형 스핀코터,에처 ,스핀디벨로퍼:Spin Cleaning & Spin Drying

Jsi-1203ARD SpinCoater

-Spin Etcher, Rinsing Dryer,Spin Developer 기능 추가 가능

-Full 플래스틱 하우징

-시료 : 웨이퍼 , 글래스

-시료크기 :12인치 이상 웨이퍼 또는 글래스 -웨이퍼 직경 12인치 이상 대형 스핀코터:

-Single wafer process

-Acid-resistant materials and structure

-옵션 :Etching ,Rinsing, Dry 가능
-3 Nozzle, (1nozzle for Acid washing, 2nozzle for DI-Water Rinsing ,Drying)
-Body & Bowl :PVC or SUS
-Max Substrate :300 MM Φ ,200mm x 200mm 이상
-Speed :100~3000rpm RPM
-Acuracy :+-0.5%
-Step :3스텝 이상
-Timer:0-999 seconds
-기본 Chuck 포함
Dimension : 650w*650h*470d mm :12인치 기준
용도:웨이퍼 ,글라스 코팅, 린싱,디벨로핑

-직경 12인치 이상 대형 스핀코터는 별도 문의 요망 :