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재성ITS는 반도체관련 장비 제작및 수입 판매업체입니다.

 



                                                       
               

 용도

-웨이퍼, 글래스 PR , 유기박막 코팅
■액정 등 디스플레이 관련
■CD*DVD 등 광디스크 관련
■반도체 관련

    ■고성능 스핀 도포(Spin coating)기술을 기반으로 한 각 프로세스의 연구실 장비및 제조 장비를 수입 및 제조공급합니다

자세한 사양은
그림을 클릭해 주십시오

가능한 시료 크기
컵 지름

스핀 모터/
/회전수/
회전 방식

회전스텝수
전원

장비 치수/특징


JSi-402T
테플론 재질 스핀코터

φ100 mm이하
(100 g이하)
φ200 mm*

 

 

스피드 콘트롤 모터
250∼5000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 디스플레이


**테플론 보울 :
내화학성 필요한 작업 가능

2스텝
1sec∼999Sec
AC220V/2A

 

 

스핀코터 외형
250w*250d*270h(mm)
소형*탁상 타입
유지보수용이

vacuum chuck 1개,
기본 포함
디스펜서 옵션

제작 과정상 실제 사양은 그림과 다를수 있슴


JSI-402A
φ100 mm이하
(100 g이하)
φ200 mm*SUS

스피드 콘트롤 모터
250∼5000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 디스플레이

2스텝
1sec∼999Sec
AC220V/2A

스핀코터 외형
300w*300d*270h(mm)
소형*탁상 타입
유지보수용이

vacuum chuck 1개,
기본 포함
디스펜서 옵션

제작 과정상 실제 사양은 그림과 다를수 있슴


JSI-603A

φ150 mm이하
(100 g이하)
φ250 mm*NPP

 

 

스피드 콘트롤 모터
250∼6000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 디스플레이

 

 

3스텝
1sec∼999Sec
AC220V/2A

 

 

스핀코터 외형
350w*450d*270h(mm)
소형*탁상 타입
유지보수용이

vacuum chuck 1개,
기본 포함
디스펜서 옵션

제작 과정상 실제 사양은 그림과 다를수 있슴



JSi-405D

φ150 mm이하
(100 g이하)
φ300 mm*PTFE

 

스텐레스 or PP

DC 모터
250∼6000rpm
정밀도 : ±0.5%
디지털 디스플레이

 

 

5스텝,5메모리
1sec∼999Sec
AC220V/2A

 

스핀코터 외형
240w*240d*230h(mm)
소형*탁상 타입
유지보수용이

vacuum chuck 1개,
기본 포함
디스펜서 옵션

제작 과정상 실제 사양은 그림과 다를수 있슴


JSI-603D

φ150 mm이하
( 각형 150*150)
φ400 mm*스텐레스

스텐레스 or PP

AC 서보 모터
250-6000rpm
정밀도 : 0.5%
디지털 방식

옵션:테플론 보울

10스텝(디지탈 제어)
10 Memories
1sec∼999Sec
AC220V/5A

터치패널 입력방식

스핀코터 외형
250w*250d*260h(mm)
소형*탁상 타입
램프, 다운시간 설정 가능


vacuum chuck 1개,
기본 포함
디스펜서 옵션


JSI-803D

φ200 mm이하
( 각형 150*150)
φ400 mm*스텐레스

스텐레스 or PP

AC 서보 모터
250-6000rpm
정밀도 : 0.5%
디지털 방식

옵션:테플론 보울

10스텝(디지탈 제어)
10 Memories
1sec∼999Sec
AC220V/5A

터치패널 입력방식


스핀코터 외형
2800W x 280D x 260H
소형*탁상 타입
마이크로 프로세서 제어

vacuum chuck 1개,
로터리 진공펌프 기본 포함
디스펜서 옵션


NS-430SD특별 사양

φ300 mm이하
φ450 mm*스텐레스

AC서보 모터
200∼2000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 방식

 


터치판넬입력
10패턴 10스텝설정
기능

AC200V
/2A

스핀 디벨로퍼
스핀코터 외형

φ200&φ300 겸용

소형*탁상 타입

 


1H-D7

φ100 mm이하

미까사 Japan


300~8000 rpm

정밀도 : ±1%

 

 

100스텝 설정 가능
(rf: 3steps x 33)
디지털 제어
AC100V

 

스핀코터 외형
260w*230h*330d mm

소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)


1H-Dx2

φ150 mm이하

미까사 Japan

300~7000 rpm

정밀도 : ±1%

100스텝 설정 가능
(rf: 3steps x 33)

디지털 제어

AC100V

스핀코터 외형
350w*270h*530d mm
소형*탁상 타입


마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)

φ200 mm이하

미까사 Japan

300~5000 rpm

정밀도 : ±1%

100스텝 설정 가능
(rf: 3steps x 33)

디지털 제어

AC100V

스핀코터 외형
510w*330h*610d mm

소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)


SPIN150

φ150 mm이하

APT German

 

 

 

 

1~12,000 rpm

정밀도 : ±0.1RPM

Digital Acceleration
/Deacceleration 30,000rpm/s

N2 Purge Port

 

 

무한스텝 설정 가능
무한 메모리

디지털 제어

AC200V

 

 

 

 

 

 

 

 

 

스핀코터 외형
290w*230h*450d mm

키보드 분리 가능
소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)

Digital LCD Coontrol

Safety Door Lock

Solution 튀김 방지 설계


spin 200

φ200 mm이하

APT German

 

 

 

 

1~12,000 rpm

정밀도 : ±0.1RPM

Digital Acceleration
/Deacceleration 30,000rpm/s

N2 Purge Port

 

 

무한스텝 설정 가능
무한 메모리

디지털 제어

AC200V

스핀코터 외형
330w*310h*530d mm

키보드 분리 가능
소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)


Digital LCD Coontrol

Safety Door Lock

Solution 튀김 방지 설계

 

*옵션 시료대, 진공 펌프, 안전 커버, 센터 링 치구, 등
*제조 인 라인 장치, 유저 특별 사양도 제작 가능합니다.
*미까사 스핀코터 수리 전문

*스핀코터 척 제작 요청

Photoresist : SU8,PDMS,
................... AZ1512,AZ5214
................... TPR

    ■고성능 스핀 도포(Spin coating)기술을 기반으로 한 각 프로세스의 연구실 장비및 제조 장비를 수입 및 제조공급합니다

High quality spin coated layers 가 필요한 분야:
  • Photoresist for defining patterns in microcircuit fabrication.

    Dielectric/insulating layers for microcircuit fabrication ? polymers, SOG, SiLK, etc.

    Magnetic disk coatings - magnetic particle suspensions, head lubricants, etc.

    Flat screen display coatings. - Antireflection coatings, conductive oxide, etc.

    Compact Disks ? DVD, CD ROM, etc.

  • Television tube phosphor and antireflection coatings.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

         옵션 :스핀코터용 저소음 베큠펌프: Oil-Free ,저소음(Low Noise),105 LPM :400,000원(부가세 별도)

 

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Mask Cleaner

반자동형
마스크 얼라이너

평행광 노광기

사각 기판용
평행광 노광기

ALD System(Atomic Layer Deposition)

espro Flowmeter

재성ITS co,
Tel:031-479-4211/2
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