spincoater/스핀코터

스핀코터(Spincoater) 마스크얼라이너(Mask Aligner) 파릴렌코터(Pparylene Coater)

스핀 디스펜서

Spin coater NS－430 시리즈(300mm 웨이퍼용)
기종	매뉴얼 스핀디스펜서	매뉴얼 스핀디스펜서
사양	NS－430	NS－430SD
시료 사이즈	φ10∼300 mm이하	same
컵 지름 재질	φ450 mm·스텐레스	same
본체 재질·치수	SS＋소부도장	SS＋소부도장
스핀 모터	AC 모터	AC 서보 모터
회전수	200∼2000rpm	200∼2000rpm
		(볼륨 설정±1 rpm)
회전 표시	디지탈 표시	same
회전단수	3스텝	10스템,10메모리
	스핀 프로그램 방식	스핀 프로그램 방식
전원	AC200V	same
CDA or N2	옵션	옵션
진공	200 Torr 이상	0.2 Mpa 이상
토출 노즐	1 계통 숫동 스윙식	1 계통수동, 자동 스윙식
옵션	시료대	시료대
진공 펌프	Option	Option
	안전 커버	안전 커버

                                          경기도 안양시 동안구 호계 555-9
                                           안양 국제 유통단지 17동 127호
                                          Tel : (031) 479-4211/2, Fax : (031) 479-4213
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