Spincoater /스핀코터

스핀코터(Spincoater) 마스크얼라이너(Mask Aligner) 파릴렌코터(Pparylene Coater)

콤팩트한 설계 및 고성능
최대 100 스텝 입력 가능 (ref :3step x33 memories)
SLOPE UP/ DOWN 임의 설정
± 1RPM의 정밀도
신뢰성이 높은 실회전 표시

형 명	IH-DX2	1H0-360S
형 식
시 료 대
시 료 사 이 즈	최대 150 MMØ	최대 200 MMØ
회 전 수	300~7000RPM	300~5000RPM
회 전 수 표 시	디지탈
회전 시간 입력	0.15~999.9sec, 무부하시
회전 정지 시간	0.3 ~999.9sec, 무부하시
진공 스테이지 개폐압	360 mmHg 이상
Resolution	± 1RPM, 무부하시
시 퀀 스	키보드로 입력
1 시 퀀 스	최대 100 단, 최장시간 999.9 sec
보 울 사 이 즈	290 MMØ	360 MMØ
전 원	100V, 50/60 Hz 4A	100V, 50/60 Hz 5A
소 비 전 력	350W	500W
외 형	350Wx 270H x530D mm	510Wx 330H x610D mm
기 타	진공 라인과 진공 펌프는 별매입니다

                                           경기도 안양시 동안구 호계 555-9
                                           안양 국제 유통단지 17동 127호
                                          Tel : (031) 479-4211/2, Fax : (031) 479-4213
                                                    1992-2001 ,Jsi.co. All rights reserved

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