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재성ITS는 반도체관련 장비 제작및 수입 판매업체입니다.

 


Spin coater JSI-803D

기종

매뉴얼 스핀코터

품 명
JSI-803D
시료 사이즈
φ10∼200 mm dia 이하
(100 g이하)
컵 지름 재질
φ300 mm·스텐레스
본체 재질·치수
SS
280W*28D*260Hmm
스핀 모터
AC서보모터
회전수
100∼6000rpm
회전 표시
디지탈 표시
회전step
20단(디지탈),20 Recipe
1 sec∼999sec
전원
AC220V
CDA or N2
Option
진공
200 Torr 이상
토출 노즐
Option
옵션
척기본 1개
안전 커버
베큠 펌프
105LPM

 

 

 

Mask Cleaner

반자동형
마스크 얼라이너

평행광 노광기

사각 기판용
평행광 노광기

ALD System(Atomic Layer Deposition)

espro Flowmeter

재성ITS co,
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