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재성ITS는 반도체관련 장비 제작및 수입 판매업체입니다.

 


Spin coater JSI-402D,603D시리즈

기종

매뉴얼 스핀코터

매뉴얼 스핀코터

품 명
JSI-402D
JSI-603D
시료 사이즈
φ10∼100 mm dia 이하
10∼150 mm dia 이하
(100 g이하)
(100 g이하)
컵 지름 재질
φ200 mm·스텐레스
φ300 mm·스텐레스
본체 재질·치수
SS
SS
220W*220D*230Hmm
250W*250D*260Hmm
스핀 모터
AC서보모터
AC서보모터
회전수
100∼8000rpm
100∼8000rpm
 
 
회전 표시
디지탈 표시
디지탈 표시
회전step
5단(디지탈), 5 Recipe
10단(디지탈),10 Recipe
1 sec∼999sec
1 sec∼999sec
전원
AC220V
AC220V
CDA or N2
Option
Option
진공
200 Torr 이상
200 Torr 이상
토출 노즐
Option
Option
옵션
척기본 1개
척기본 1개
베큠 펌프
105LPM
안전 커버
안전 커버

 

장비의 특징 :

1.소형 크기로 글로브 박스내 설치시 유리하고, PR코팅이나 유기 박막 코팅등 기본기능에 충실한 합리적 가격, 우수한 품질의 스핀코터

2.PLC 제어를 통한 쉬운 작동.

납품처 : 한양대 외국어대 한밭대 국내 공과 대학 및 재료 연구원등 다수 연구기관에 납품

 

Mask Cleaner

반자동형
마스크 얼라이너

평행광 노광기

사각 기판용
평행광 노광기

ALD System(Atomic Layer Deposition)

espro Flowmeter

재성ITS co,
Tel:031-479-4211/2
Mail: contrabase26@gmail.com     jsi@jsits.com
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