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Spin coater JSI-402D,603D½Ã¸®Áî

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JSI-402D
JSI-603D
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¥õ10¡­100 mm dia ÀÌÇÏ
10¡­150 mm dia ÀÌÇÏ
(100 gÀÌÇÏ)
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¥õ200 mm¡¤½ºÅÙ·¹½º
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220W*220D*230Hmm
250W*250D*260Hmm
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100¡­8000rpm
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µðÁöÅ» Ç¥½Ã
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ȸÀüstep
5´Ü(µðÁöÅ»), 5 Recipe
10´Ü(µðÁöÅ»),10 Recipe
1 sec¡­999sec
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Àü¿ø
AC220V
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CDA or N2
Option
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Áø°ø
200 Torr ÀÌ»ó
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ÅäÃâ ³ëÁñ
Option
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ô±âº» 1°³
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105LPM
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Mask Cleaner

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ALD System(Atomic Layer Deposition)

espro Flowmeter

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Tel:031-479-4211/2
Mail: contrabase26@gmail.com     jsi@jsits.com
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