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재성ITS는 반도체관련 장비 제작및 수입 판매업체입니다.

 

스핀코터
Spincoater

대형 스핀코터

보급형 스핀코터

반도체용
핫플레이트

스핀코터 선택시 고려사항


Spin coater JSI-402D,603D시리즈

기종

매뉴얼 스핀코터

매뉴얼 스핀코터

품 명
JSI-402D
JSI-603D
시료 사이즈
φ10∼100 mm dia 이하
10∼150 mm dia 이하
(100 g이하)
(100 g이하)
컵 지름 재질
φ200 mm·스텐레스
φ300 mm·스텐레스
본체 재질·치수
SS
SS
220W*220D*230Hmm
250W*250D*260Hmm
스핀 모터
AC서보모터
AC서보모터
회전수
100∼8000rpm
100∼8000rpm
 
 
회전 표시
디지탈 표시
디지탈 표시
회전step
5단(디지탈), 5 Recipe
10단(디지탈),10 Recipe
1 sec∼999sec
1 sec∼999sec
전원
AC220V
AC220V
CDA or N2
Option
Option
진공
200 Torr 이상
200 Torr 이상
토출 노즐
Option
Option
옵션
척기본 1개
척기본 1개
베큠 펌프
105LPM
안전 커버
안전 커버

 

 

 
디스펜싱용 스핀코터

스핀에처
스핀디벨로퍼

스핀프로세서1스핀프로세서2

EBR

사각글래스용 EBR
(Edge Bead Removal)

Mask Cleaner

반자동형
마스크 얼라이너

평행광 노광기

사각 기판용
평행광 노광기
ALD System(Atomic Layer Deposition)

오존 클리너
Ozon Cleaner

스퍼터 Sputter
마스크리스 얼라이너

Maskless Aligner

Maskless Lithography

espro Flowmeter
간이암실
베큠 트위져
Vacuum Tweezer
웨이퍼 핸들링 시스템

재성ITS co,
Tel:031-479-4211/2
Mail: contrabase26@gmail.com     jsi@jsits.com
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