• 가능사이즈: up to Ø160mm wafer,100mm x 100mm
• 재질      : Full 플래스틱 하우징(NPP) -옵션으로 테플론 재질 선택가능
• RPM      :0-12,000RPM,
• Accuracy :+ - 1RPM, APT German DC Servo Motor
• Step      :Unlimited Step &Memory
• Acceleration / Deceleration : 1-30,000rpm/sec, step별로 설정가능
• 회전방향 변동가능 : (CW, CCW, puddling)
• Time      : 0.1~99999sec
• 컬러터치스크린을 통한 쉬운 단계별 메모리 프로그램 가능
• 글로브 박스내 설치가 용이한 최소형 사이즈 : 274mm(W) x 250mm(H) x451(D) mm :
                                             키패드분리시 : 274mm(W) x 250mm(H) x300mm(D)-키보드분리형
  
  
•   Vacuum On/Off
• 3 Programmable Dry Contacts: for automated control of Dispense unit, Nitrogen diffuser, etc.
•   고정밀 독일제 DC 서보 모터 사용 :최고의 Coating Thickness Uniformaty 가능
    - Digitally controlled Motor with digital incremental speed signal feed back
•   투명한 뚜껑및 :중앙에 디스펜싱용 시린지 홀더용 Hall :수동 디스펜싱 or오토디스펜싱(추가키트 필요) 가능
•   Automatic safety lid lock with sensor interlock
•   분리 가능한 컨트롤러(컨트롤패드)
•   N2 diffuser for N2 purge during process
•   Structured and password protected recipe storage for easy and safe management
    

포함 : standard Vacuum Chuck A-V36-S45-PP-HD, Ø45mm for up to Ø6“ wafers.
     
       Drain connection 1” male NPT

	글로브박스(Glove Box)내 설치현황     뚜껑과 컨트롤패널을 분리하여 설치한 모습.