IPA Dryer
IPA Dryer

IPA dryers,model JSiD-150,200

아이피에이 증기가 반응조에 투입되고, 아이피에이 증기의 얇은 막이 웨이퍼 상에 형성되어 순수를 밀어냅니다.

이 현상은 마랑고니 효과로써 서로 다른 표면장력 특성을 지닌 액체 사이에서 발생합니다.

가열한 질소와 병행 사용하여 건조효과를 증대 시키며, 웻스테이션에 적용하거나 또는단독으로 사용합니다.

장점

-사용 중 웨이퍼의 파손이 없으며, 얇은 웨이퍼의 건조에
  유용합니다.

-파티클의 발생이 없습니다.

-여러 종류의 카세트를 적용할 수 있습니다.

 -iPA 소모가 적습니다.

 

Reliability

 -PP and PVC?construction

 -1 년간 품질 보증

프로그램 및 Hardware

  • 자동 건조 공정
  • 2~ 12인치 웨이퍼 적용
  • JSiD-100(4"), JSiD-200(8"), JSiD-300(12")
  • 한 회에 25~50 매 웨이퍼 건조
  • 8" 칼라 터치패널 디스플레이
  • 작은 Foot print
  • 1 갤런용 ipa bottle로 공급
재성ITS co, Tel:031-479-4211/2 Mail:jsi@jsits.com