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IPA Dryer

IPA dryers,model JSiD-150,200

아이피에이 증기가 반응조에 투입되고, 아이피에이 증기의 얇은 막이 웨이퍼 상에 형성되어 순수를 밀어냅니다.

이 현상은 마랑고니 효과로써 서로 다른 표면장력 특성을 지닌 액체 사이에서 발생합니다.

가열한 질소와 병행 사용하여 건조효과를 증대 시키며, 웻스테이션에 적용하거나 또는단독으로 사용합니다.

장점

-사용 중 웨이퍼의 파손이 없으며, 얇은 웨이퍼의 건조에
유용합니다.

-파티클의 발생이 없습니다.

-여러 종류의 카세트를 적용할 수 있습니다.

-iPA 소모가 적습니다.

재성ITS co, Tel:031-479-4211/2 Mail:jsi@jsits.com