스핀 린스 드라이어 (Spin Rinse Dryer) -멀티카세트 타입
  Multi Cassettes type           1 cassette type
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스핀 린스 드라이어

JS2D 모델은 2개 또는 4개의 캐리어를 동시에 건조하도록 설계되었습니다.

챔버를 깨끗하게 유지하기 위해 상부에 청정필터를 장착하여 기계 내부로 항상 깨끗한 공기를 공급합니다.

(Optional D.I rinsing available)

 

2, 4-cassettes type

모델
 JS2D-150(6inch), JS2D-200(8inch), JS2D-300(12inch)-2 carrier type
2~4 carrier type

2, 4-carrier type available: 2, 4, 5, 6 inch wafer

Rotating speed
 Spin : 0-900rpm(variable)
Dry : 0-900rpm(variable)
Processing time
 Spin: 0-999.9sec(variable)
Dry: 0-999.9sec(variable)

Rinse

D.I water rinse ( optional)

Auto Balancing

optional
HEPA, ULPA filter
 0.3μm, filtration 99.99% or over.
Lid
 Automatically opened/closed
Exhaust
 Auto damper provided
Power supply
 3φ AC220V, 50/60Hz　3φ 380V AC, 50/60Hz

 
   

옵션:

    -Static eliminator(ionizer)
    -Hot air generator

    -Can be automated with
    robot system
    -Cradles of different sizes -D.I water rinsing mechanism
    -N2 blow mechanism
    -Special specifications/Spindryers
    available for glass substrates and
    ceramic substrates.

 

  
재성ITS co, Tel:031-479-4211/2 Mail:jsi@jsits.com