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스핀 린스 드라이어 (Spin Rinse Dryer) -멀티카세트 타입
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Multi Cassettes type |
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스핀 린스 드라이어
JS2D 모델은 2개 또는 4개의 캐리어를 동시에 건조하도록 설계되었습니다.
챔버를 깨끗하게 유지하기 위해 상부에 청정필터를 장착하여 기계 내부로 항상 깨끗한 공기를 공급합니다.
(Optional D.I rinsing available) |
2, 4-cassettes type
모델 |
JS2D-150(6inch), JS2D-200(8inch), JS2D-300(12inch)-2 carrier type |
2~4 carrier type |
2, 4-carrier type available: 2, 4, 5, 6 inch wafer
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Rotating speed |
Spin : 0-900rpm(variable)
Dry : 0-900rpm(variable)
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Processing time |
Spin: 0-999.9sec(variable)
Dry: 0-999.9sec(variable) |
Rinse |
D.I water rinse ( optional) |
Auto Balancing |
optional |
HEPA, ULPA filter |
0.3μm, filtration 99.99% or over. |
Lid |
Automatically opened/closed |
Exhaust |
Auto damper provided |
Power supply |
3φ AC220V, 50/60Hz 3φ 380V AC, 50/60Hz |
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옵션:
-Static eliminator(ionizer)
-Hot air generator
-Can be automated with
robot system
-Cradles of different sizes
-D.I water rinsing mechanism
-N2 blow mechanism
-Special specifications/Spindryers
available for glass substrates and
ceramic substrates.
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