용도 |
모델명 및 구성
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Description |
시료사이즈
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옵션 |
오토PR코팅 |
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오토PR코팅:
PR의 도포량 조절 기능 -디스펜싱세트:
테플론튜브+노즐+ 콘트롤러로 구성 |
-재질 :NPP
-DC서보모터
-Accuracy: +-1 RPM
-무한메모리, 무한스텝
-RPM : 1-12.000 rpm
-드레인기능
-Acceleration:1-30,000rpm/sec
-외형치수:spin150
274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm
-외형치수:spin200
380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
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키보드 분리 가능 |
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Edge Bead Removal
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Edge Bead Removal:반도체 포토 공정중 웨이퍼 위에
PR을 분사 후 회전시켜 코팅하는
Spin Coating에서 웨이퍼 가장자리
코팅부분이 원심력과 표면 장력에
뭉치는 현상이 발생하게 되고,
이로 인해 후속 노광 작업시 패턴 불량이
발생할 가능성이 높아지는데
이를 제거하는 공정을 말함. -디스펜싱세트(EBR용):
테플론튜브+노즐+ 콘트롤러
+석백밸브+가압베슬 로 구성 |
재질 :NPP
DC서보모터
Accuracy: +-1 RPM
무한메모리, 무한스텝
RPM : 1-12.000 rpm
드레인기능
외형치수:spin150
274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm
외형치수:spin200
380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
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키보드 분리 가능 |
Spin150/200 NPP
+디스펜싱세트(EBR용)
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스핀디벨로핑 |
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스핀디벨로핑:스핀코터를 이용한 디벨로핑 공정-디스펜싱세트(디벨로핑용):
테플론튜브+노즐+ 콘트롤러
+석백밸브+가압베슬 로 구성 |
재질 :NPP
DC서보모터
Accuracy: +-1 RPM
무한메모리, 무한스텝
RPM : 1-12.000 rpm
드레인기능
외형치수:spin150
274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm
외형치수:spin200
380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
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키보드 분리 가능 |
Spin150/200 NPP +디스펜싱세트(디벨로핑용)
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스핀에칭 |
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스핀에칭:스핀코터를 이용한 에칭공정-디스펜싱세트(에칭용):
테플론튜브+노즐+ 콘트롤러
+석백밸브+가압베슬 로 구성 |
재질 :NPP
DC서보모터
Accuracy: +-1 RPM
무한메모리, 무한스텝
RPM : 1-12.000 rpm
드레인기능
외형치수:spin150
274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm
외형치수:spin200
380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
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키보드 분리 가능 |
Spin150/200 NPP+디스펜싱세트(에칭용)
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스핀린싱
/클리닝 |
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스핀린싱/클리닝스핀코터를 이용한 Di-Water
린싱공정-디스펜싱세트(린싱용):
테플론튜브+노즐+ 콘트롤러
로 구성 |
재질 :NPP
DC서보모터
Accuracy: +-1 RPM
무한메모리, 무한스텝
RPM : 1-12.000 rpm
드레인기능
외형치수:spin150
274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm
외형치수:spin200
380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
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키보드 분리 가능 |
Spin150/200 NPP+디스펜싱세트(린싱용)
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스핀프로세싱 |
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Drying
Rinse/clean
Etching
Developing-용도별 기능 추가및 제거가능-온도조절 가능-세정, 현상, 린스, 드라이 가능 |
재질 :테플론 ,PVC
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케미컬 세정 및 식각용
스핀프로세서 |
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납품현황:ETRI,동우화인캠,외 다수 기업 및 연구소
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