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Description |
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¿ÀÅäPRÄÚÆÃ |
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¿ÀÅäPRÄÚÆÃ:
PRÀÇ µµÆ÷·® Á¶Àý ±â´É -µð½ºÆæ½Ì¼¼Æ®:
Å×ÇÃ·ÐÆ©ºê+³ëÁñ+ ÄÜÆ®·Ñ·¯·Î ±¸¼º |
-ÀçÁú :NPP
-DC¼º¸¸ðÅÍ
-Accuracy: +-1 RPM
-¹«ÇѸ޸ð¸®, ¹«ÇѽºÅÜ
-RPM : 1-12.000 rpm
-µå·¹Àαâ´É
-Acceleration:1-30,000rpm/sec
-¿ÜÇüÄ¡¼ö:spin150
274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm
-¿ÜÇüÄ¡¼ö:spin200
380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
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~150mm¿þÀÌÆÛ
~200mm¿þÀÌÆÛ
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Űº¸µå ºÐ¸® °¡´É |
Spin150/200 NPP
+µð½ºÆæ½Ì¼¼Æ®
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Edge Bead Removal
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Edge Bead Removal:¹ÝµµÃ¼ Æ÷Åä °øÁ¤Áß ¿þÀÌÆÛ À§¿¡
PRÀ» ºÐ»ç ÈÄ È¸Àü½ÃÄÑ ÄÚÆÃÇÏ´Â
Spin Coating¿¡¼ ¿þÀÌÆÛ °¡ÀåÀÚ¸®
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À̸¦ Á¦°ÅÇÏ´Â °øÁ¤À» ¸»ÇÔ. -µð½ºÆæ½Ì¼¼Æ®(EBR¿ë):
Å×ÇÃ·ÐÆ©ºê+³ëÁñ+ ÄÜÆ®·Ñ·¯
+¼®¹é¹ëºê+°¡¾Ðº£½½ ·Î ±¸¼º |
ÀçÁú :NPP
DC¼º¸¸ðÅÍ
Accuracy: +-1 RPM
¹«ÇѸ޸ð¸®, ¹«ÇѽºÅÜ
RPM : 1-12.000 rpm
µå·¹Àαâ´É
¿ÜÇüÄ¡¼ö:spin150
274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm
¿ÜÇüÄ¡¼ö:spin200
380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
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~150mm¿þÀÌÆÛ
~200mm¿þÀÌÆÛ
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Űº¸µå ºÐ¸® °¡´É |
Spin150/200 NPP
+µð½ºÆæ½Ì¼¼Æ®(EBR¿ë)
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½ºÇɵ𺧷ÎÇÎ |
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½ºÇɵ𺧷ÎÇÎ:½ºÇÉÄÚÅ͸¦ ÀÌ¿ëÇÑ µðº§·ÎÇÎ °øÁ¤-µð½ºÆæ½Ì¼¼Æ®(µðº§·ÎÇοë):
Å×ÇÃ·ÐÆ©ºê+³ëÁñ+ ÄÜÆ®·Ñ·¯
+¼®¹é¹ëºê+°¡¾Ðº£½½ ·Î ±¸¼º |
ÀçÁú :NPP
DC¼º¸¸ðÅÍ
Accuracy: +-1 RPM
¹«ÇѸ޸ð¸®, ¹«ÇѽºÅÜ
RPM : 1-12.000 rpm
µå·¹Àαâ´É
¿ÜÇüÄ¡¼ö:spin150
274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm
¿ÜÇüÄ¡¼ö:spin200
380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
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~150mm¿þÀÌÆÛ
~200mm¿þÀÌÆÛ
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Űº¸µå ºÐ¸® °¡´É |
Spin150/200 NPP +µð½ºÆæ½Ì¼¼Æ®(µðº§·ÎÇοë)
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½ºÇÉ¿¡Äª |
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½ºÇÉ¿¡Äª:½ºÇÉÄÚÅ͸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¿¡Äª°øÁ¤-µð½ºÆæ½Ì¼¼Æ®(¿¡Äª¿ë):
Å×ÇÃ·ÐÆ©ºê+³ëÁñ+ ÄÜÆ®·Ñ·¯
+¼®¹é¹ëºê+°¡¾Ðº£½½ ·Î ±¸¼º |
ÀçÁú :NPP
DC¼º¸¸ðÅÍ
Accuracy: +-1 RPM
¹«ÇѸ޸ð¸®, ¹«ÇѽºÅÜ
RPM : 1-12.000 rpm
µå·¹Àαâ´É
¿ÜÇüÄ¡¼ö:spin150
274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm
¿ÜÇüÄ¡¼ö:spin200
380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
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~150mm¿þÀÌÆÛ
~200mm¿þÀÌÆÛ
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Űº¸µå ºÐ¸® °¡´É |
Spin150/200 NPP+µð½ºÆæ½Ì¼¼Æ®(¿¡Äª¿ë)
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½ºÇɸ°½Ì
/Ŭ¸®´× |
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½ºÇɸ°½Ì/Ŭ¸®´×½ºÇÉÄÚÅ͸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Di-Water
¸°½Ì°øÁ¤-µð½ºÆæ½Ì¼¼Æ®(¸°½Ì¿ë):
Å×ÇÃ·ÐÆ©ºê+³ëÁñ+ ÄÜÆ®·Ñ·¯
·Î ±¸¼º |
ÀçÁú :NPP
DC¼º¸¸ðÅÍ
Accuracy: +-1 RPM
¹«ÇѸ޸ð¸®, ¹«ÇѽºÅÜ
RPM : 1-12.000 rpm
µå·¹Àαâ´É
¿ÜÇüÄ¡¼ö:spin150
274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm
¿ÜÇüÄ¡¼ö:spin200
380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
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~150mm¿þÀÌÆÛ
~200mm¿þÀÌÆÛ
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Űº¸µå ºÐ¸® °¡´É |
Spin150/200 NPP+µð½ºÆæ½Ì¼¼Æ®(¸°½Ì¿ë)
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½ºÇÉÇÁ·Î¼¼½Ì |
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Drying
Rinse/clean
Etching
Developing-¿ëµµº° ±â´É Ãß°¡¹× Á¦°Å°¡´É-¿ÂµµÁ¶Àý °¡´É-¼¼Á¤, Çö»ó, ¸°½º, µå¶óÀÌ °¡´É |
ÀçÁú :Å×Ç÷Р,PVC
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ÄɹÌÄà ¼¼Á¤ ¹× ½Ä°¢¿ë
½ºÇÉÇÁ·Î¼¼¼ |
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납품현황:ETRI,µ¿¿ìÈÀÎÄ·,¿Ü ´Ù¼ö ±â¾÷ ¹× ¿¬±¸¼Ò
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