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재성ITS는 반도체관련 장비 제작및 수입 판매업체입니다.

 


                                                                                 
     

 대형 스핀코터

Spin coater

대형 스핀코터

사양/기종
Jsi-3060
Jsi-3747
Jsi-5050
시료 사이즈
300mm x 600mm Glass 1t
370mm x 470mm Glass 1t
500mm x 500mm Glass 1t
바디/보울
304 스텐레스 스틸
same
same
스핀 모터
AC 서보 모터
AC 서보 모터
AC 서보 모터
회전수
100~3,000rpm
100~2,500rpm
100~2,500rpm
Acceleration
1,000RPM/sec.
1,000RPM/sec.
1,000RPM/sec.
회전단수
20step, 20recipes
20step, 20recipes
20step, 20recipes
프로그램 방식
PLC 터치스크린 제어
PLC 터치스크린 제어
PLC 터치스크린 제어
전원
AC220V
same
same
CDA or N2
옵션
옵션
옵션
Dispensing
4 different liquids controlled
4 different liquids controlled
4 different liquids controlled
Drain Port
Available
Available
Available
Dimension
1500W x 1200D x 1650H mm 225 Kg, 220VAC, 60Hz
1500W x 1200D x 1650H mm 225 Kg ,220VAC, 60Hz
1700W x 1400D x 1650H mm 220VAC, 60Hz, 300 Kg
용도
대형 시료 의 스핀코팅 ,식각, 세정용
대형 시료 의 스핀코팅 ,식각, 세정용
대형 시료 의 스핀코팅 ,식각, 세정용
납품처
삼성종합 기술원,동우 화인캠,동진 세미켐, 원익 외 다수 업체 연구소

 

Specification
-Programmable 20 steps, 20 recipes stored
-PLC and Touch panel operation
-Acuracy +- 1 RPM
-Max RPM: 3,000
-Acceleration: 1,000RPM/sec.
-SUS304 body and bowl
    for easy cleaning and chemical resistance
-Drain port
-HEPA filter unit (Option)
-Standard dry vacuum pump: 100 liter/ min, 0.5 ATM Standard sample chuck


- Combined with a spraying nozzle for large area coating
- Easy to be modified for spray coater
- Repeatable performance
- Flexibility for programing
- Auto liquid dispensing system
- 4 different liquids controlled

 

 

다른 사이즈도 주문제작 가능

경기도 안양시 동안구 호계 555-9 안양 국제 유통단지 17동 127호
경기도 안양시 동안구 호계동 555-9 디오밸리 410호
Tel : (031) 479-4211/2,

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Ozon Cleaner

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마스크리스 얼라이너

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Maskless Lithography

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간이암실
베큠 트위져
Vacuum Tweezer
웨이퍼 핸들링 시스템

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