
대형 스핀코터
Spin coater |
대형 스핀코터 |
사양/기종 |
Jsi-3060 |
Jsi-3747 |
Jsi-5050 |
시료 사이즈 |
300mm x 600mm Glass 1t |
370mm x 470mm Glass 1t |
500mm x 500mm Glass 1t |
바디/보울 |
304 스텐레스 스틸 |
same |
same |
스핀 모터 |
AC 서보 모터 |
AC 서보 모터 |
AC 서보 모터 |
회전수 |
100~3,000rpm |
100~2,500rpm |
100~2,500rpm |
Acceleration |
1,000RPM/sec. |
1,000RPM/sec. |
1,000RPM/sec. |
회전단수 |
20step, 20recipes |
20step, 20recipes |
20step, 20recipes |
프로그램 방식 |
PLC 터치스크린 제어 |
PLC 터치스크린 제어 |
PLC 터치스크린 제어 |
전원 |
AC220V |
same |
same |
CDA or N2 |
옵션 |
옵션 |
옵션 |
Dispensing |
4 different liquids controlled |
4 different liquids controlled |
4 different liquids controlled |
Drain Port |
Available |
Available |
Available |
Dimension |
1500W x 1200D x 1650H mm 225 Kg, 220VAC, 60Hz |
1500W x 1200D x 1650H mm 225 Kg ,220VAC, 60Hz |
1700W x 1400D x 1650H mm 220VAC, 60Hz, 300 Kg |
용도 |
대형 시료 의 스핀코팅 ,식각, 세정용 |
대형 시료 의 스핀코팅 ,식각, 세정용 |
대형 시료 의 스핀코팅 ,식각, 세정용 |
납품처 |
삼성종합 기술원,동우 화인캠,동진 세미켐, 원익 외 다수 업체 연구소 |
Specification
-Programmable 20 steps, 20 recipes stored
-PLC and Touch panel operation
-Acuracy +- 1 RPM
-Max RPM: 3,000
-Acceleration: 1,000RPM/sec.
-SUS304 body and bowl
for easy cleaning and chemical resistance
-Drain port
-HEPA filter unit (Option)
-Standard dry vacuum pump: 100 liter/ min, 0.5 ATM Standard sample chuck
- Combined with a spraying nozzle for large area coating
- Easy to be modified for spray coater
- Repeatable performance
- Flexibility for programing
- Auto liquid dispensing system
- 4 different liquids controlled
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다른 사이즈도 주문제작 가능
경기도
안양시 동안구 호계 555-9
안양
국제 유통단지 17동 127호
경기도 안양시 동안구 호계동 555-9 디오밸리 410호
Tel
: (031) 479-4211/2,
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