스핀코터(Spincoater)

마스크얼라이너(Mask Aligner)

 
Spincoater Home
Wafer Handling System
             
TRANSFERS & SORTERS   WAFER ALIGNERS  VACUUM WANDS   WAFER PICKS   METAL CASSETTES   MASK PICKS   OPENERS   PRESENTERS   TRANSPORT BAGS   MOCK WAFERS
             
 
MECHANICAL WAFER PICKS
     
 

Sorters

SafeGuard Thin/Compound

Automatic Slide Transfer

Manual Slide Transfer

 

WHS-G1
MECHANICAL WAFER PICKS

메카니컬 웨이퍼 픽

:

Wafer Size
100-125 MM
150 MM
200 MM
50-76 MM

GRIP:
EDGE GRIP /EDGE GRIP WITH SPATULA
 
 




컴파운드 및 얇은 웨이퍼 호환 가능
상시 폐쇄형 에지 웨이퍼 핸들링
인체공학적으로 안전한 웨이퍼 핸들링
과불화탄소 3mm 전면 터치패드
정전기 방지 소재 구

Wafer 3-point mechanical gripper

     

Automatic Notch Aligner

Automatic-flat-aligner

Manual-notch-aligner

Manual-flat-aligner

Portable Wand

Vacuum Wand Set

Vacuum tips

Vacuum Handles

     

Wafer 3-point mechanical gripper

Wafer Edge Pick

 

Aluminum Process Cassettes

Aluminum Box Cassettes

Stainless Steel Process Cassettes

Process Cassettes 300mm

응용분야

  • 특수 웨이퍼 핸들링 - 후면 접촉 핸들링 방법으로 핸들링할 수 없는 접합, 이중 지형, Taiko, 광학, TSV, MEMS 및
    기타 웨이퍼의 일반적인 가장자리만 핸들링합니다.
     
  • 구조 - 프로세스 도구 또는 자동화 내부에 걸린 웨이퍼를 제거시 사용
     
  • 표준 처리 - 웨이퍼 팹에서 웨이퍼를 수동으로 이송, 분류 및 로딩합니다.
    실리콘 및 복합 웨이퍼 모두에 작동합니다.
     
  • 검사 - 일반적으로 작업자가 특수 조명 아래에서 검사해야 하는 매크로 결함, 입자 및 긁힘이 있는지 웨이퍼를
    샘플 검사합니다.
     
  • 경제적인 핸들링 도구 - 일반 웨이퍼 핸들링 응용 분야에서 베큠완드에 대한 비용 효율적이고 휴대 가능한 대안으로 사용됩니다.
    긁힌 자국을 남기는 핀셋을 대신할 수 있습니다.


웨이퍼 가장자리에서 50mm ~ 200mm 원형 기판을 처리하기 위한 일반적으로 닫힌(일관적인 힘) 가장자리 그립 기계식 픽입니다.

그리퍼 소재는 긴 수명, 정전기 방지 특성 및 일반적인 내화학성을 위해 ESD 안전 PEEK입니다.

웨이퍼 접촉 패드는 긁힘이나 가스 방출 없이 웨이퍼를 잡을 수 있는 퍼플루오로 탄성중합체 스트립입니다.
ISO 클래스 4.


     

Mask Pick - Side Grip

Mask Pick - Horizontal Grip

품 명
스 펙
납 기
WHS-G1-23
Mechanical Edge Grip Wafer Pick, 50-76mm
2 weeks
WHS-G1-45
Mechanical Edge Grip Wafer Pick, 100-125mm
2 weeks
WHS-G1-6
Mechanical Edge Grip Wafer Pick, 150mm
2 weeks
WHS-G1-8
Mechanical Edge Grip Wafer Pick, 200mm
2 weeks
WHS-G2-23
Mechanical Edge Grip Wafer Pick With Spatula, 50-76mm
2 weeks
WHS-G2-45
Mechanical Edge Grip Wafer Pick With Spatula, 100-125mm
2 weeks
WHS-G2-6
Mechanical Edge Grip Wafer Pick With Spatula, 150mm
2 weeks
WHS-G2-8
Mechanical Edge Grip Wafer Pick With Spatula, 200mm
2 weeks
WHS-G3-1201
Mechanical 3-Gripper Wafer Pick, PTFE Gripper, 300mm
2-6 weeks
WHS-G3-1202
Mechanical 3-Gripper Wafer Pick, PEEK Gripper, 300mm
2-6 weeks
WHS-G3-201
Mechanical 3-Gripper Wafer Pick, PTFE Gripper, 50mm
2-6 weeks
WHS-G3-202
Mechanical 3-Gripper Wafer Pick, PEEK Gripper, 50mm
2-6 weeks
WHS-G3-301
Mechanical 3-Gripper Wafer Pick, PTFE Gripper, 76mm
2-6 weeks
WHS-G3-302
Mechanical 3-Gripper Wafer Pick, PEEK Gripper, 76mm
2-6 weeks
WHS-G3-401
Mechanical 3-Gripper Wafer Pick, PTFE Gripper, 100mm
2-6 weeks
WHS-G3-402
Mechanical 3-Gripper Wafer Pick, PEEK Gripper, 100mm
2-6 weeks
WHS-G3-601
Mechanical 3-Gripper Wafer Pick, PTFE Gripper, 150mm
2-6 weeks
WHS-G3-602
Mechanical 3-Gripper Wafer Pick, PEEK Gripper, 150mm
2-6 weeks
WHS-G3-801
Mechanical 3-Gripper Wafer Pick, PTFE Gripper, 200mm
2-6 weeks
WHS-G3-802
Mechanical 3-Gripper Wafer Pick, PEEK Gripper, 200mm
2-6 weeks

 

 

Manual Reticle SMIF Pod Opener, RSP150

Manual FOUP Opener, 300 mm

 

Automatic Wafer Presenter

Manual Five-Wafer Lift Presenter

Manual Single Wafer Presenter

21-manual-wafer-escalators

 



재성ITS co.

경기도 안양시 동안구 호계동 555-9 안양 국제 유통단지 17동 127호
경기도 안양시 동안구 호계동 555-9 디오밸리 410호
 Tel : (031) 479-4211/2, Fax : (0504) 460-0288

1992-2023 ,Jsi.co. All rights reserved  

 

Contact us :contrabase26@gmail.com jsi@jsits.com