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Process 300mm Cassettes
     
 

Sorters

SafeGuard Thin/Compound

Automatic Slide Transfer

Manual Slide Transfer

 


WHS-M4-1807002
Process 300mm Cassettes

프로세스 300mm 카세트

Wafer Size: 12"


 

Aluminum Process Cassettes

Aluminum Box Cassettes

Stainless Steel Process Cassettes

Process Cassettes 300mm

     
 

재질
알루미늄 | 마감: 하드 클리어 알루마이트 처리(HC)C)

Automatic Notch Aligner

Automatic-flat-aligner

Manual-notch-aligner

Manual-flat-aligner

최대 350°C의 고온 애플리케이션
강력하고 치수적으로 안정적인 디자인
SEMI 300mm 자동화 규격
오래 지속되는 내마모성 소재
인체공학적으로 고정 장착된 측면 핸들
잠금 바를 통한 안전한 운송
FOUP보다 가벼움

   

Portable Wand

Vacuum Wand Set

Vacuum tips

Vacuum Handles

   
    Slot:
25 slot
Top/Bottom
커버플레이트/도킹 옵션
       

Wafer 3-point mechanical gripper

Wafer Edge Pick



           
     

Aluminum Process Cassettes

Aluminum Box Cassettes

Stainless Steel Process Cassettes

Process Cassettes 300mm

응용분야:

  • 베이크 - 웨이퍼를 오븐에 며칠 동안 방치하는 장기 열 베이킹에 사용합니다.
     
  • 두꺼운 웨이퍼 - 업계 표준 플라스틱 카세트가 슬롯 크기로 인해 부적합 할때 또는 두꺼운 웨이퍼 에 사용합니다

 직경 300mm(12인치) 웨이퍼용 WHS M4 시리즈 알루미늄 금속 카세트입니다.
산업용 FOUP 프로파일에 동역학적 커플링과 측면 핸들이 있는 SEMI 규격 25슬롯, 10mm(0.393") 피치 카세트입니다.
안전한 웨이퍼 운송을 위한 잠금 잠금 바 기능이 있습니다.
경질 투명(HC) 양극산화 처리된 내마모성 알루미늄 표면 마감 처리.
열 자동화 처리 및 최대 350°C의 일반 베이킹 용도에 적합합니다.



     

Mask Pick - Side Grip

Mask Pick - Horizontal Grip

카세트 분류표
품 명
스 펙
납 기
WHS-M1-1807750
Process Aluminium Cassette Standard, 76mm, 25-slot, Hard Clear
6-8 weeks
WHS-M1-1807760
Process Aluminium Cassette Standard, 76mm, 13-slot Handle, Hard Clear
6-8 weeks
WHS-M1-1807762
Process Aluminium Cassette Standard, 100mm, 25-slot, Hard Clear
6-8 weeks
WHS-M1-1807772
Process Aluminium Cassette Standard, 100mm, 13-slot Handle, Hard Clear
6-8 weeks
WHS-M1-1807774
Process Aluminium Cassette Standard, 150mm, 25-slot, Hard Clear
6-8 weeks
WHS-M1-1807784
Process Aluminium Cassette Standard, 150mm, 13-slot Handle, Hard Clear
6-8 weeks
WHS-M1-1807787
Process Aluminium Cassette Standard, 200mm, 25-slot Handle, Hard Clear
6-8 weeks
WHS-M1-1807796
Process Aluminium Cassette Standard, 200mm, 13-slot Handle, Hard Clear
6-8 weeks
WHS-M2-1807798
Box Style Aluminium Cassette, 76mm, 25-Slot, Hard Clear, Closed End Wall, PTFE Stops
6-8 weeks
WHS-M2-1807800
Box Style Aluminium Cassette, 76mm, 25-Slot, Hard Clear, Open End Wall, PTFE Stops
6-8 weeks
WHS-M2-1807814
Box Style Aluminium Cassette, 100mm, 25-Slot, Hard Clear, Closed End Wall, PTFE Stops
6-8 weeks
WHS-M2-1807816
Box Style Aluminium Cassette, 100mm, 25-Slot, Hard Clear, Open End Wall, PTFE Stops
6-8 weeks
WHS-M2-1807830
Box Style Aluminium Cassette, 150mm, 25-Slot, Hard Clear, Closed End Wall, PTFE Stops
6-8 weeks
WHS-M2-1807832
Box Style Aluminium Cassette, 150mm, 25-Slot, Hard Clear, Open End Wall, PTFE Stops
6-8 weeks
WHS-M2-1807846
Box Style Aluminium Cassette, 200mm, 25-Slot, Hard Clear, Closed End Wall, PTFE Stops
6-8 weeks
WHS-M2-1807848
Box Style Aluminium Cassette, 200mm, 25-Slot, Hard Clear, Open End Wall, PTFE Stops
6-8 weeks
WHS-M3-1808037
Stainless Steel Cassette, 76mm, 25-slot
6-8 weeks
WHS-M3-1808039
Stainless Steel Cassette, 100mm, 25-slot
6-8 weeks
WHS-M3-1808041
Stainless Steel Cassette, 150mm, 25-slot
6-8 weeks
WHS-M3-1808043
Stainless Steel Cassette, 200mm, 25-slot
6-8 weeks
WHS-M4-1807002
Metal Cassette Aluminum, 300mm, 25-slot, Hard Clear Anodized
6-8 weeks

 

 

Manual Reticle SMIF Pod Opener, RSP150

Manual FOUP Opener, 300 mm

 

Automatic Wafer Presenter

Manual Five-Wafer Lift Presenter

Manual Single Wafer Presenter

21-manual-wafer-escalators

 


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