스핀코터(Spincoater)

마스크얼라이너(Mask Aligner)

 
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Wafer Handling System
               
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WHS PRESENTERS & ESCALATORS
     
 

Sorters

SafeGuard Thin/Compound

Automatic Slide Transfer

Manual Slide Transfer

 

WHS-P4
Manual Single Wafer Presenter

수동 단일 웨이퍼 프리젠터

Wafer Size:3" 4" 6" 8"

 

-Type:Automatic
-25 slot

Automatic Wafer Presenter

Manual Five-Wafer Lift Presenter

Manual Single Wafer Presenter

21-manual-wafer-escalators

 

     

Automatic Notch Aligner

Automatic-flat-aligner

Manual-notch-aligner

Manual-flat-aligner

Edge Only Wafer Contact
스크래치 감소 도구
Use with WHS-V1-AP4BST Insert Prevention Vacuum Tip
Geared Wafer Selector
Interlocked Lift Lever
ESD-safe Construction
운반 손잡이가 있는 휴대형

Portable Wand

Vacuum Wand Set

Vacuum tips

Vacuum Handles

     

Wafer 3-point mechanical gripper

Wafer Edge Pick

Application
웨이퍼 검사 - 웨이퍼 프리젠터는 검사 중에 웨이퍼를 고정하고 회전시키는 데 사용되므로 웨이퍼 표면과 특징에 대한
자동화되고 일관된 매크로 분석이 가능합니다.

원시 웨이퍼 생산, 에피택셜 후 검사, 유리 웨이퍼 헤이즈, 스크래치, 매크로 결함 검사, 포토리소그래피(포토레지스트) 및
프로브/테스트 영역(잉킹)의 로트 공정 무결성 검사에서 흔히 볼 수 있습니다.

스크래치 감소 - 웨이퍼의 스크래치는 취급 중에 발생할 수 있으며 결함 및 수율 손실을 초래할 수 있습니다.
웨이퍼 프리젠터는 카세트에서 웨이퍼를 들어 올리도록 설계되어 작업자가 카세트 내부의 웨이퍼 사이를
물리적으로 이동할 필요 없이 웨이퍼에 접근하고 처리할 수 있습니다.
이를 통해 작업자가 웨이퍼를 수동으로 조작할 필요가 없으며 손상이나 오염의 위험이 줄어듭니다.

P4는 직경 76mm(3인치), 100mm(4인치), 150mm(6인치) 또는 200mm(8인치) 모델로 제공되는 수동 단일 웨이퍼 프리젠터입니다.

WHS-P4는 단일 웨이퍼를 카세트 위로 완전히 들어 올려 작업자가 인접한 웨이퍼를 긁지 않고 쉽게 제거할 수 있도록 합니다.

정전기 방지 소재로 제작된 WHS-P4는 엄격한 ISO 4(FS209E 클래스 10) 표준을 충족하도록 제작되어 웨이퍼에 대한
최고 수준의 보호를 보장합니다.
 

Aluminum Process Cassettes

Aluminum Box Cassettes

Stainless Steel Process Cassettes

Process Cassettes 300mm

     

Mask Pick - Side Grip

Mask Pick - Horizontal Grip

품명
설명
납기
WHS-P1-301
Automatic Wafer Presenter, 76mm
2-6 weeks
WHS-P1-401
Automatic Wafer Presenter, 100mm
2-6 weeks
WHS-P1-601
Automatic Wafer Presenter, 150mm
2-6 weeks
WHS-P1-801
Automatic Wafer Presenter, 200mm
2-6 weeks
WHS-P1-TABLE
WHS-P1 Automatic Wafer Presenter Cleanroom Table w/ Cutout
6-8 weeks
WHS-P2-401
Manual Wafer Escalator, 100mm
2-6 weeks
WHS-P2-601
Manual Wafer Escalator, 150mm
2-6 weeks
WHS-P2-801
Manual Wafer Escalator, 200mm
2-6 weeks
WHS-P3-601
5-Wafer Lifter, 150mm Presenter
2-6 weeks
WHS-P3-801
5-Wafer Lifter, 200mm Presenter
2-6 weeks
WHS-P4-301
Manual single wafer presenter, 76mm
2-6 weeks
WHS-P4-401
Manual single wafer presenter, 100mm
2-6 weeks
WHS-P4-601
Manual single wafer presenter, 150mm
2-6 weeks
WHS-P4-801
Manual single wafer presenter, 200mm
2-6 weeks
 

Manual Reticle SMIF Pod Opener, RSP150

Manual FOUP Opener, 300 mm

 

Automatic Wafer Presenter

Manual Five-Wafer Lift Presenter

Manual Single Wafer Presenter

21-manual-wafer-escalators

 


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