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스핀코터(Spincoater)
마스크얼라이너(Mask
Aligner) |
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TRANSFERS & SORTERS WAFER ALIGNERS VACUUM WANDS WAFER PICKS METAL CASSETTES MASK PICKS OPENERS PRESENTERS TRANSPORT BAGS MOCK WAFERS |
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WHS PRESENTERS & ESCALATORS |
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Sorters
SafeGuard Thin/Compound
Automatic Slide Transfer
Manual Slide Transfer |
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WHS-P4
Manual Single Wafer Presenter
수동 단일 웨이퍼 프리젠터
Wafer Size:3" 4" 6" 8" |
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Automatic Notch Aligner
Automatic-flat-aligner
Manual-notch-aligner
Manual-flat-aligner |
Edge Only Wafer Contact
스크래치 감소 도구
Use with WHS-V1-AP4BST Insert Prevention Vacuum Tip
Geared Wafer Selector
Interlocked Lift Lever
ESD-safe Construction
운반 손잡이가 있는 휴대형 |
Portable Wand
Vacuum Wand Set
Vacuum tips
Vacuum Handles |
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Wafer 3-point mechanical gripper
Wafer Edge Pick |
Application
웨이퍼 검사 - 웨이퍼 프리젠터는 검사 중에 웨이퍼를 고정하고 회전시키는 데 사용되므로 웨이퍼 표면과 특징에 대한
자동화되고 일관된 매크로 분석이 가능합니다.
원시 웨이퍼 생산, 에피택셜 후 검사, 유리 웨이퍼 헤이즈, 스크래치, 매크로 결함 검사, 포토리소그래피(포토레지스트) 및
프로브/테스트 영역(잉킹)의 로트 공정 무결성 검사에서 흔히 볼 수 있습니다.
스크래치 감소 - 웨이퍼의 스크래치는 취급 중에 발생할 수 있으며 결함 및 수율 손실을 초래할 수 있습니다.
웨이퍼 프리젠터는 카세트에서 웨이퍼를 들어 올리도록 설계되어 작업자가 카세트 내부의 웨이퍼 사이를
물리적으로 이동할 필요 없이 웨이퍼에 접근하고 처리할 수 있습니다.
이를 통해 작업자가 웨이퍼를 수동으로 조작할 필요가 없으며 손상이나 오염의 위험이 줄어듭니다.
P4는 직경 76mm(3인치), 100mm(4인치), 150mm(6인치) 또는 200mm(8인치) 모델로 제공되는 수동 단일 웨이퍼 프리젠터입니다.
WHS-P4는 단일 웨이퍼를 카세트 위로 완전히 들어 올려 작업자가 인접한 웨이퍼를 긁지 않고 쉽게 제거할 수 있도록 합니다.
정전기 방지 소재로 제작된 WHS-P4는 엄격한 ISO 4(FS209E 클래스 10) 표준을 충족하도록 제작되어 웨이퍼에 대한
최고 수준의 보호를 보장합니다. |
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Aluminum Process Cassettes
Aluminum Box Cassettes
Stainless Steel Process Cassettes
Process Cassettes 300mm |
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Mask Pick - Side Grip
Mask Pick - Horizontal Grip |
품명 |
설명 |
납기 |
WHS-P1-301 |
Automatic Wafer Presenter, 76mm |
2-6 weeks |
WHS-P1-401 |
Automatic Wafer Presenter, 100mm |
2-6 weeks |
WHS-P1-601 |
Automatic Wafer Presenter, 150mm |
2-6 weeks |
WHS-P1-801 |
Automatic Wafer Presenter, 200mm |
2-6 weeks |
WHS-P1-TABLE |
WHS-P1 Automatic Wafer Presenter Cleanroom Table w/ Cutout |
6-8 weeks |
WHS-P2-401 |
Manual Wafer Escalator, 100mm |
2-6 weeks |
WHS-P2-601 |
Manual Wafer Escalator, 150mm |
2-6 weeks |
WHS-P2-801 |
Manual Wafer Escalator, 200mm |
2-6 weeks |
WHS-P3-601 |
5-Wafer Lifter, 150mm Presenter |
2-6 weeks |
WHS-P3-801 |
5-Wafer Lifter, 200mm Presenter |
2-6 weeks |
WHS-P4-301 |
Manual single wafer presenter, 76mm |
2-6 weeks |
WHS-P4-401 |
Manual single wafer presenter, 100mm |
2-6 weeks |
WHS-P4-601 |
Manual single wafer presenter, 150mm |
2-6 weeks |
WHS-P4-801 |
Manual single wafer presenter, 200mm |
2-6 weeks |
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Manual Reticle SMIF Pod Opener, RSP150
Manual FOUP Opener, 300 mm |
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Automatic Wafer Presenter
Manual Five-Wafer Lift Presenter
Manual Single Wafer Presenter
21-manual-wafer-escalators |
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재성ITS co.
경기도
안양시 동안구 호계동 555-9 안양
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경기도
안양시 동안구 호계동 555-9 디오밸리 410호
Tel
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