TRANSFERS & SORTERS WAFER ALIGNERS VACUUM WANDS WAFER PICKS METAL CASSETTES MASK PICKS OPENERS PRESENTERS TRANSPORT BAGS MOCK WAFERS | |||||||||||
Transfers |
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WHS-T2 Wafer Size:3" 4" 6" 8" |
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-Type:Automatic |
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웨이퍼 및 카세트 접지 경로를 갖춘 정전기 방지 구조 터치 스크린 디스플레이 제어 Programmable Transfer arm Resistance Sensor 통합 카세트 위치 센서 |
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-Shipping/receiving area:웨이퍼 트랜스퍼는 들어오는 웨이퍼를 운송 카세트에서 WIP 생산 카세트로 이동하는 데 사용됩니다. | -Epitaxial area:웨이퍼 트랜스퍼는 들어오는 웨이퍼를 배송 카세트에서 WIP 생산 또는 특수 EPI 프로세스 카세트로 이동하는 데 사용됩니다. |
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Wet chemistry areas:웨이퍼 트랜스퍼는 웨이퍼가 습식 화학 영역에 들어갈 때 WIP 생산 카세트와 습식 공정 Teflon PFA 카세트 사이에서 웨이퍼를 이동하는 데 사용됩니다. | Thermal process bake areas: 웨이퍼 트랜스퍼는 웨이퍼가 열 공정 베이크 공정 영역에 들어갈 때 WIP 생산 카세트와 금속 또는 석영 카세트 사이에서 웨이퍼를 이동하는 데 사용됩니다. | ||||||||||
Probe and test areas:웨이퍼 트랜스퍼는 들어오는 웨이퍼를 운송 카세트에서 WIP 생산 카세트로 이동하는 데 사용됩니다. | 계측 및 검사 영역:웨이퍼 트랜스퍼는 웨이퍼의 결함 및 기타 품질 관리 조치를 분석하고 검사하는 계측 및 검사 영역에서도 발생할 수 있습니다.. | ||||||||||
Material Stage: Anti-Static/Natural Polypropylene Material Arm: ESD-Safe Polyoxymethylene Type: Automatic System Slots: Wafers For 25-Slot Cassettes |
두 개의 SEMI 규격 웨이퍼 카세트 간에 76mm에서 최대 200mm의 웨이퍼를 안전하게 이송하기 위한 정밀 자동 수평 벌크 웨이퍼 슬라이드 트랜스퍼입니다. 하이 및 로우 프로파일 플라스틱 공정, 금속 카세트 및 H-BAR이 있는 대부분의 배송 카세트와 호환됩니다. 터치스크린 디스플레이, 통합된 SEND 및 RECEIVE 스테이지 카세트 장착 센서, 모션 중 과도한 힘을 모니터링하는 조정 가능한 트랜스퍼 암 저항 센서가 특징입니다. 정전기 방지 및 내화학성 소재. Iso 4 클린룸과 호환됩니다. |
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경기도
안양시 동안구 호계동 555-9 안양
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