스핀코터(Spincoater)

마스크얼라이너(Mask Aligner)

  
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Wafer Handling System
               
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Transfers
      
 

Sorters

SafeGuard Thin/Compound

Automatic Slide Transfer

Manual Slide Transfer

  

WHS-T2
Automatic Slide Transfer
자동 슬라이드 트랜스퍼

Wafer Size:3" 4" 6" 8"

 

      

 

-Type:Automatic
-25 slot
 

 

Automatic Notch Aligner

Automatic-flat-aligner

Manual-notch-aligner

Manual-flat-aligner

 웨이퍼 및 카세트 접지 경로를 갖춘 정전기 방지 구조
터치 스크린 디스플레이 제어
Programmable Transfer arm Resistance Sensor
통합 카세트 위치 센서
   

Portable Wand

Vacuum Wand Set

Vacuum tips

Vacuum Handles

  
 
     

Wafer 3-point mechanical gripper

Wafer Edge Pick

 -Shipping/receiving area:웨이퍼 트랜스퍼는 들어오는 웨이퍼를 운송 카세트에서 WIP 생산 카세트로 이동하는 데 사용됩니다.

-Epitaxial area:웨이퍼 트랜스퍼는 들어오는 웨이퍼를 배송 카세트에서 WIP 생산 또는 특수 EPI 프로세스 카세트로 이동하는 데 사용됩니다.
     

Aluminum Process Cassettes

Aluminum Box Cassettes

Stainless Steel Process Cassettes

Process Cassettes 300mm

 Wet chemistry areas:웨이퍼 트랜스퍼는 웨이퍼가 습식 화학 영역에 들어갈 때 WIP 생산 카세트와 습식 공정 Teflon PFA 카세트 사이에서 웨이퍼를 이동하는 데 사용됩니다. Thermal process bake areas: 웨이퍼 트랜스퍼는 웨이퍼가 열 공정 베이크 공정 영역에 들어갈 때 WIP 생산 카세트와 금속 또는 석영 카세트 사이에서 웨이퍼를 이동하는 데 사용됩니다.
     

Mask Pick - Side Grip

Mask Pick - Horizontal Grip

 Probe and test areas:웨이퍼 트랜스퍼는 들어오는 웨이퍼를 운송 카세트에서 WIP 생산 카세트로 이동하는 데 사용됩니다. 계측 및 검사 영역:웨이퍼 트랜스퍼는 웨이퍼의 결함 및 기타 품질 관리 조치를 분석하고 검사하는 계측 및 검사 영역에서도 발생할 수 있습니다..
     

Manual Reticle SMIF Pod Opener, RSP150

Manual FOUP Opener, 300 mm

 Material Stage: Anti-Static/Natural Polypropylene
Material Arm: ESD-Safe Polyoxymethylene
Type: Automatic System
Slots: Wafers For 25-Slot Cassettes		 두 개의 SEMI 규격 웨이퍼 카세트 간에 76mm에서 최대 200mm의 웨이퍼를 안전하게 이송하기 위한 정밀 자동 수평 벌크 웨이퍼 슬라이드 트랜스퍼입니다.
하이 및 로우 프로파일 플라스틱 공정, 금속 카세트 및 H-BAR이 있는 대부분의 배송 카세트와 호환됩니다.
터치스크린 디스플레이, 통합된 SEND 및 RECEIVE 스테이지 카세트 장착 센서, 모션 중 과도한 힘을 모니터링하는 조정 가능한 트랜스퍼 암 저항 센서가 특징입니다.
정전기 방지 및 내화학성 소재. Iso 4 클린룸과 호환됩니다.
     

Automatic Wafer Presenter

Manual Five-Wafer Lift Presenter

Manual Single Wafer Presenter

21-manual-wafer-escalators

  

 
 


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