Wafer Presenter /웨이퍼 프리젠터

웨이퍼 검사 - 웨이퍼 프리젠터는 검사 중에 웨이퍼를 고정하고 회전시키는 데 사용되므로 웨이퍼 표면과 특징에 대한
자동화되고 일관된 매크로 분석이 가능합니다.

원시 웨이퍼 생산, 에피택셜 후 검사, 유리 웨이퍼 헤이즈, 스크래치, 매크로 결함 검사, 포토리소그래피(포토레지스트) 및 프로브/테스트 영역(잉킹)의
로트 공정 무결성 검사에서 흔히 볼 수 있습니다.

스크래치 감소 - 웨이퍼의 스크래치는 취급 중에 발생할 수 있으며 결함 및 수율 손실을 초래할 수 있습니다.

웨이퍼 프리젠터는 카세트에서 웨이퍼를 들어 올리도록 설계되어 작업자가 카세트 내부의 웨이퍼 사이를
물리적으로 이동할 필요 없이 웨이퍼에 접근하고 처리할 수 있습니다.

이를 통해 작업자가 웨이퍼를 수동으로 조작할 필요가 없으며 손상이나 오염의 위험이 줄어듭니다.

WHS-P1-301은 회전 기능이 있는 자동화된 단일 웨이퍼 프리젠터로 직경 76mm(3인치)의 웨이퍼용으로 설계되었습니다.
WHS-P1은 카세트에서 제거하거나 웨이퍼 검사 용도로 단일 웨이퍼를 작업자에게 완전히 들어 올립니다.

이 시스템은 후면 적용을 위해 웨이퍼를 180° 뒤집는 데에도 사용할 수 있습니다.
정전기 방지 소재로 제작된 WHS-P1은 엄격한 ISO 3(FS209E 클래스 1) 표준을 충족하도록 제작되어 웨이퍼에 대한 최고 수준의 보호를 보장합니다.

Aluminum Process Cassettes

Aluminum Box Cassettes

Stainless Steel Process Cassettes

Process Cassettes 300mm

Mask Pick - Side Grip

Mask Pick - Horizontal Grip

품명	설명	납기
WHS-P1-301	Automatic Wafer Presenter, 76mm	2-6 weeks
WHS-P1-401	Automatic Wafer Presenter, 100mm	2-6 weeks
WHS-P1-601	Automatic Wafer Presenter, 150mm	2-6 weeks
WHS-P1-801	Automatic Wafer Presenter, 200mm	2-6 weeks
WHS-P1-TABLE	WHS-P1 Automatic Wafer Presenter Cleanroom Table w/ Cutout	6-8 weeks
WHS-P2-401	Manual Wafer Escalator, 100mm	2-6 weeks
WHS-P2-601	Manual Wafer Escalator, 150mm	2-6 weeks
WHS-P2-801	Manual Wafer Escalator, 200mm	2-6 weeks
WHS-P3-601	5-Wafer Lifter, 150mm Presenter	2-6 weeks
WHS-P3-801	5-Wafer Lifter, 200mm Presenter	2-6 weeks
WHS-P4-301	Manual single wafer presenter, 76mm	2-6 weeks
WHS-P4-401	Manual single wafer presenter, 100mm	2-6 weeks
WHS-P4-601	Manual single wafer presenter, 150mm	2-6 weeks
WHS-P4-801	Manual single wafer presenter, 200mm	2-6 weeks

Manual Reticle SMIF Pod Opener, RSP150

Manual FOUP Opener, 300 mm

Automatic Wafer Presenter

Manual Five-Wafer Lift Presenter

Manual Single Wafer Presenter

21-manual-wafer-escalators

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