Automatic flat Aligner
WHS-A1 Series
Automatic Flatfinder(자동 플랫파인더)
Wafer Size:3" 4" 6" 8"
Multi size :3"4"5"6"
-Type:Automatic
-up to 25 slot
재질
스테이지:정전기 방지 폴리옥시메틸렌
롤러:정전기 방지 폴리우레탄
청소를 위한 빠른 분리 롤러
+/- 1° 기본 평면 정렬 정확도
애플리케이션: 정렬, 로트 무결성 및 가장자리 검사
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Alignment - 웨이퍼 플랫 및 노치 정렬기는 반도체 산업에서 리소그래피, 증착, 에칭과 같은 다양한 공정 중에 웨이퍼의 방향이 올바른지 확인하는 데 사용됩니다.
플랫 얼라이너는 웨이퍼의 결정 격자 구조의 방향에 해당하는 노치 또는 플랫을 가지고 있습니다.
웨이퍼의 방향이 최종 반도체 장치의 성능과 기능에 영향을 미치기 때문에 이는 매우 중요합니다.
작업자가 볼 수 있도록 웨이퍼 가장자리의 식별 표시인 웨이퍼 스크라이브를 회전시킴으로써
작업자는 올바른 로트의 웨이퍼가 생산 도구에 로드되고 있는지 확인할 수 있습니다. 이는 오류를 방지하고 일관된 제품 품질을 보장하는 중요한 단계입니다.
이 매크로 검사 절차는 일반적으로 광원 아래에서 수행되며 웨이퍼 가장자리에 칩, 균열 또는 기타 결함이 있는지 검사하는 작업이 포함됩니다.
이는 후속 처리 단계에서 웨이퍼 파손을 방지하는 중요한 단계입니다. 가장자리 결함으로 인해 웨이퍼가 약해지고 파손되거나 실패할 수 있기 때문입니다.
웨이퍼 플랫 및 노치 정렬 장치를 사용하여 이러한 결함을 식별하고 검사함으로써
작업자는 결함이 있는 웨이퍼의 추가 처리를 방지하고 비용이 많이 드는 생산 지연을 방지하기 위한 조치를 취할 수 있습니다.
InP, GaAs, GaN 및 SiC 복합 웨이퍼 처리용으로 설계되었습니다.
복합 웨이퍼를 부드럽게 들어올리기 위한 전동 스테이지 기능 - 웨이퍼 가장자리를 보호하고 수율을 높입니다.
표준 정렬, 얇은 웨이퍼/복합 웨이퍼 정렬 및 가장자리 검사 레시피를 위한 터치스크린 레시피 소프트웨어입니다.
ISO 클래스 3.
품명 |
스펙 |
납 기 |
WHS-A1-301 |
Automatic Flatfinder, Antistatic, 76mm |
2-6 weeks |
WHS-A1-401 |
Automatic Flatfinder, Antistatic, 100mm |
2-6 weeks |
WHS-A1-601 |
Automatic Flatfinder, Antistatic, 150mm |
2-6 weeks |
WHS-A1-701 |
Automatic Flatfinder, Antistatic, Multisize, 76,100,125,150mm |
2-6 weeks |
WHS-A1-801 |
Automatic Flatfinder, Antistatic, 200mm |
2-6 weeks |
WHS-A2-301 |
Manual Flatfinder, Antistatic, 76mm |
2-6 weeks |
WHS-A2-401 |
Manual Flatfinder, Antistatic, 100mm |
2-6 weeks |
WHS-A2-601 |
Manual Flatfinder, Antistatic, 150mm |
2-6 weeks |
WHS-A2-701 |
Manual Flatfinder, Antistatic, Multisize, 76,100,125,150mm |
2-6 weeks |
WHS-A2-801 |
Manual Flatfinder, Antistatic, 200mm |
2-6 weeks |
WHS-A3-801 |
Automatic Notch Aligner 8" (200 mm) |
2-6 weeks |
WHS-A4-601 |
Manual Notch Aligner 6" (200 mm) |
2-6 weeks |
WHS-A4-801 |
Manual Notch Aligner 8" (200 mm) |
2-6 weeks |
WHS-A5-301 |
Economy Manual Flatfinder, Antistatic, 76mm, Single Turn Knob |
2 weeks |
WHS-A5-401 |
Economy Manual Flatfinder, Antistatic, 100mm, Single Turn Knob |
2 weeks |
WHS-A5-601 |
Economy Manual Flatfinder, Antistatic, 150mm, Single Turn Knob |
2 weeks |
WHS-A6-301 |
Economy Manual Flatfinder, Antistatic, 76mm, Dual Turn Knob |
2 weeks |
WHS-A6-401 |
Economy Manual Flatfinder, Antistatic, 100mm, Dual Turn Knob |
2 weeks |
WHS-A6-601 |
Economy Manual Flatfinder, Antistatic, 150mm, Dual Turn Knob |
2 weeks |
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