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Wafer Handling System
               
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Sorters
     
 

Sorters

SafeGuard Thin/Compound

Automatic Slide Transfer

Manual Slide Transfer


 


WHS-T4 씨리즈
2-Cassette Automation Sorter with OCR

2카세트 자동소터

Size:4" 6" 8",Dual size:6"+8"

ID를 기반으로 웨이퍼 정렬 프로세스를 간소화하도록 설계되었습니다.
개별 웨이퍼 믹스 분할, 병합, 정렬, 압축 또는 생성
시장에서 가장 작은 설치 면적

-Type:Automatic
-25 slot

     

Automatic Notch Aligner

Automatic-flat-aligner

Manual-notch-aligner

Manual-flat-aligner

End Effector: Carbon Fiber / Backside Vacuum / MappingID
Reader: Cognex or IOSS; OCR, Barcode, Data Matrix

Throughput: 700 wph
Facilities: 20-240VAC;
Vacuum
Communication: SECS GEM or Text Data Output
Certification: CE

Portable Wand

Vacuum Wand Set

Vacuum tips

Vacuum Handles

-HEIGHT 170 CM, WIDTH 37.3 CM, DEPTH 87.1 CM
     

Wafer 3-point mechanical gripper

Wafer Edge Pick

Wafer Handling System의 WHS-T4 모델은 ID를 기반으로 웨이퍼 정렬 프로세스를 간소화하도록 특별히 설계된 최첨단 솔루션입니다.
이 시스템을 사용하면 사용자는 요구 사항에 따라 개별 웨이퍼 믹스를 분할, 병합, 정렬, 압축 또는 생성하여
웨이퍼 로트를 손쉽게 맞춤 설정할 수 있습니다.
이 시스템은 두 개의 인체공학적 틸트 스테이지 로드 포트,선형 로봇, 광학 웨이퍼 노치/평면 정렬 장치 및 ID 판독기를 갖추고 있습니다.
하드웨어 수정 없이 100mm(4인치), 150mm(6인치), 200mm(8인치) 웨이퍼의 전용 크기 처리 기능
또는 150mm 및 200mm용 조합 시스템 기능을 갖추고 있습니다.

WHS-T4의 주요 특징 중 하나는 871mm x 1700mm x 373mm(L x H x W) 크기로 시장에서 가장 작은 설치 공간을 차지하는
컴팩트한 디자인입니다.
이 시스템은 두께 범위가 220μ - 1000μ인 실리콘, 유리 또는 복합 웨이퍼와 호환됩니다.
이 시스템은 12, 13, 26슬롯 카세트 옵션이 있는 자동 25슬롯 카세트 분류기입니다.
또한 이 시스템에는 50개의 웨이퍼 크기 로트를 분류할 수 있는 내부 웨이퍼 버퍼 스테이지 옵션도 있습니다.
WHS-T4는 정전기 방전으로 인한 웨이퍼 손상을 방지하는 ESD 안전 기술을 갖추고 있습니다.
WHS-T4 모델은 또한 시간당 최대 700개의 웨이퍼라는 놀라운 처리량을 자랑하며 대량의 웨이퍼 소팅을 위한
효율적이고 안정적인 솔루션입니다.

 

Aluminum Process Cassettes

Aluminum Box Cassettes

Stainless Steel Process Cassettes

Process Cassettes 300mm

     

Mask Pick - Side Grip

Mask Pick - Horizontal Grip

   
     

Manual Reticle SMIF Pod Opener, RSP150

Manual FOUP Opener, 300 mm

품명
스펙
납 기
WHS-T4-401
2-Cassette Automated Sorter with OCR, 100mm
14-16 weeks
WHS-T4-601
2-Cassette Automated Sorter with OCR, 150mm
14-16 weeks
WHS-T4-701
2-Cassette Automated Sorter with OCR, Dual Size 150mm and 200mm
14-16 weeks
WHS-T4-801
2-Cassette Automated Sorter with OCR, 200mm
14-16 weeks
 

Automatic Wafer Presenter

Manual Five-Wafer Lift Presenter

Manual Single Wafer Presenter

21-manual-wafer-escalators

 


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