스핀코터(Spincoater)

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Wafer Handling System
               
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Vacuum Wands
     
 

Sorters

SafeGuard Thin/Compound

Automatic Slide Transfer

Manual Slide Transfer

 

WHS-v6-1
Portable Vacuum Wand

포터블 베큠 완드

Wafer Size:4"~8",12"

WHS-V6은 첨단 기술의 무선 휴대용 배터리 구동 베큠완드로 진공 라인으로부터 독립성을 제공합니다.
클린룸 어디든 이동할 수 있는 이동성을 제공합니다.
무선 스마트 충전기 기본 전자 장치는 과충전으로 인한 손상 걱정 없이 (소유자 교체 가능) 리튬 이온 배터리를 완전히 충전된 상태로 유지합니다.
웨이퍼 회수 또는 경량 생산용으로 설계, ISO 클래스 3

     
 

 

Automatic Notch Aligner

Automatic-flat-aligner

Manual-notch-aligner

Manual-flat-aligner

독립형 600mbar(17.7" Hg 기압) 진공
ESD 안전 정전기 방지 구조
고급 HEPA 필터 0,3μm 입자 99,99%
하우스 진공 불필요
기본 장치는 모든 웨이퍼 크기 및 팁/컵을 처리할 수 있음

Portable Wand

Vacuum Wand Set

Vacuum tips

Vacuum Handles

   

Portable Wand

Vacuum Wand Set

Vacuum tips

Vacuum Handles

 
 
         
WHS-V6-SD
 

Wafer 3-point mechanical gripper

Wafer Edge Pick

일반용도: 베큠완드는 오염없이 웨이퍼를 한 위치에서 다른 위치로 픽업하고 운반하는 데 사용됩니다.

     

Aluminum Process Cassettes

Aluminum Box Cassettes

Stainless Steel Process Cassettes

Process Cassettes 300mm

Sorting: 수동적인 웨이퍼 분류 애플리케이션의 경우 베큠완드를 사용하면 작업자가 상위 로트 내에서 웨이퍼를 안전하고 정확하게 이동할 수 있습니다.
또한 필요에 따라 로트를 결합하고, 테스트 웨이퍼를 추가하고, 손상된 웨이퍼를 교체하는 데에도 사용할 수 있습니다.
     

Mask Pick - Side Grip

Mask Pick - Horizontal Grip

Inspection-작업자는베큠완드를 사용하여 상위 로트에서 웨이퍼를 꺼내고 특수 조명 아래에서 검사하여 결함을 찾을 수 있습니다.
이를 통해 프로세스가 성공적으로 이루어졌고 웨이퍼가 필수 사양을 충족하는지 확인됩니다.
     

Manual Reticle SMIF Pod Opener, RSP150

Manual FOUP Opener, 300 mm

문제발생시 조치 : 자동화 과정에 문제가 발생시 베큠완드를 사용하여 카세트, 포드 및 공정 도구에서 장애물을 제거할 수 있습니다.
     

Automatic Wafer Presenter

Manual Five-Wafer Lift Presenter

Manual Single Wafer Presenter

21-manual-wafer-escalators

품명
사양
납기
WHS-V6
Cordless Vacuum Wand, No Tip Included
2 weeks
WHS-V6-200
Cordless Vacuum Wand Assembly, WHS-V1-AP4NST 200mm Tip Included
2 weeks
WHS-V6-300
Cordless Vacuum Wand Assembly, WHS-V1-AP6NST 300mm Tip Included
2 weeks
WHS-V6-SD
Cordless Vacuum Wand Assembly, Small Device, Hub Needles and Vacuum Cup Starter Kit
2 weeks

 

 


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