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Wafer Handling System
               
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Vacuum Wands
     
 

Sorters

SafeGuard Thin/Compound

Automatic Slide Transfer

Manual Slide Transfer

 

WHS-v2-set
Vacuum Wand
Set
베큠 완드 세트

Wafer Size:4"~8",12"

즉시 설치 가능한 Assembly
정전기 방지 구조
최대 300mm 웨이퍼파지 가능

 

Portable Wand

Vacuum Wand Set

Vacuum tips

Vacuum Handles

     
 

 

Automatic Notch Aligner

Automatic-flat-aligner

Manual-notch-aligner

Manual-flat-aligner

 
WHS-V2-SET300
WHS-V2-SET200
WHS-V2-SET200C
WHS-V2-SET-SD

Portable Wand

Vacuum Wand Set

Vacuum tips

Vacuum Handles

       
   
   
Vacuum Wand Handle
     

Wafer 3-point mechanical gripper

Wafer Edge Pick

일반 용도:베큠 완드는 웨이퍼를 한 위치에서 다른 위치로 픽업하고 운반하는 데 사용됩니다(without adding particles)

     

Aluminum Process Cassettes

Aluminum Box Cassettes

Stainless Steel Process Cassettes

Process Cassettes 300mm

분류: 수동 웨이퍼 분류 애플리케이션의 경우 베큠완드를 사용하면 작업자가 상위 로트 내에서 웨이퍼를 안전하고 정확하게 이동할 수 있습니다
. 또한 필요에 따라 로트를 결합하고, 테스트 웨이퍼를 추가하고, 손상된 웨이퍼를 교체하는 데에도 사용할 수 있습니다.
     

Mask Pick - Side Grip

Mask Pick - Horizontal Grip

Inspection - 작업자는 베큠완드를 사용하여 상위 로트에서 웨이퍼를 꺼내고 특수 조명 아래에서 검사하여 결함을 찾을 수 있습니다.
이를 통해 프로세스가 성공적으로 이루어졌고 웨이퍼가 필수 사양을 충족하는지 확인됩니다.
     

Manual Reticle SMIF Pod Opener, RSP150

Manual FOUP Opener, 300 mm

Rescue :베큠완드는 자동화 성능이 저하될 때 카세트, 포드 및 프로세스 도구에서 꼬인물질(stranded substrates)을 제거하는 데 사용할 수 있습니다.
     

Automatic Wafer Presenter

Manual Five-Wafer Lift Presenter

Manual Single Wafer Presenter

21-manual-wafer-escalators

품 명
스펙
납기
WHS-V2-LG
Vacuum Wand Handle - normally open, large ergonomic handle
2 weeks
WHS-V2-LGNC
Vacuum Wand Handle - normally closed, large ergonomic handle
2 weeks
WHS-V2-SD
Vacuum Wand Handle - normally open, small handle, die device handling
2 weeks
WHS-V2-SDNC
Vacuum Wand Handle - normally closed, small handel, die device handling
2 weeks
WHS-V2-SET1
Vacuum Wand Assembly Kit 300mm
2-3 weeks
WHS-V2-SET2
Vacuum Wand Assembly Kit, 150-200mm
2-3 weeks
WHS-V2-SET3
Vacuum Wand Assembly Kit, 150-200mm Compound/Thin Wafer
2-3 weeks
WHS-V2-SET4
Vacuum Wand Assembly Kit, 76-100mm Compound/Thin Wafer
2-3 weeks
WHS-V2-SET5
Vacuum Wand Assembly Kit, Small Device
2-3 weeks
WHS-V2-SM
Vacuum Wand Handle - normally open, small ergonomic handle
2 weeks
WHS-V2-SMNC
Vacuum Wand Handle - normally closed, small ergonomic handle
2 weeks

 

 


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