TRANSFERS & SORTERS WAFER ALIGNERS VACUUM WANDS WAFER PICKS METAL CASSETTES MASK PICKS OPENERS PRESENTERS TRANSPORT BAGS MOCK WAFERS | |||||||||||
Transfers |
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WHS-T3 Wafer Size:3" 4" 6" 8" |
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-Type:Manual |
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웨이퍼 및 카세트 접지 경로를 갖춘 정전기 방지 구조 유지 관리가 필요 없는 정밀 슬라이드 레일 내화학성 재질 |
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-Shipping/receiving area:웨이퍼 트랜스퍼는 들어오는 웨이퍼를 운송 카세트에서 WIP 생산 카세트로 이동하는 데 사용됩니다. | -Epitaxial area:웨이퍼 트랜스퍼는 들어오는 웨이퍼를 배송 카세트에서 WIP 생산 또는 특수 EPI 프로세스 카세트로 이동하는 데 사용됩니다. |
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Wet chemistry areas:웨이퍼 트랜스퍼는 웨이퍼가 습식 화학 영역에 들어갈 때 WIP 생산 카세트와 습식 공정 Teflon PFA 카세트 사이에서 웨이퍼를 이동하는 데 사용됩니다. | Thermal process bake areas: 웨이퍼 트랜스퍼는 웨이퍼가 열 공정 베이크 공정 영역에 들어갈 때 WIP 생산 카세트와 금속 또는 석영 카세트 사이에서 웨이퍼를 이동하는 데 사용됩니다. | ||||||||||
Probe and test areas:웨이퍼 트랜스퍼는 들어오는 웨이퍼를 운송 카세트에서 WIP 생산 카세트로 이동하는 데 사용됩니다. | 계측 및 검사 영역:웨이퍼 트랜스퍼는 웨이퍼의 결함 및 기타 품질 관리 조치를 분석하고 검사하는 계측 및 검사 영역에서도 발생할 수 있습니다. | ||||||||||
Wafer Flipping/Inverting: 웨이퍼 트랜스퍼는 웨이퍼를 한 카세트에서 180° 반전된 다른 카세트로 이동하는 데 사용됩니다. 반도체 제조에는 웨이퍼 뒷면 작업과 관련된 다양한 공정이 있습니다. 이러한 공정에는 후면 리소그래피, 에칭, 증착, 본딩 등이 포함될 수 있습니다. 이러한 공정을 수행하려면 제조업체는 뒷면이 위를 향하도록 웨이퍼를 뒤집어야 합니다. | T3 시리즈는 두 개의 SEMI 규격 웨이퍼 카세트 사이에서 웨이퍼를 안전하게 이송하기 위한 정밀 수동 수평 벌크 웨이퍼 슬라이드 이송 장치입니다. 하이 및 로우 프로파일 플라스틱 공정, 금속 카세트 및 H-BAR이 있는 대부분의 배송 카세트와 호환됩니다. UHMW 베어링 블록과 쌍을 이루는 고급 코팅 로드로 설계된 부드럽고 서비스가 필요 없는 슬라이드 레일 시스템이 특징입니다. 정전기 방지, 마모 및 내화학성 소재. ISO 클래스 4. |
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