스핀코터(Spincoater)

마스크얼라이너(Mask Aligner)

  
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Wafer Handling System
               
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Transfers
      
 

Sorters

SafeGuard Thin/Compound

Automatic Slide Transfer

Manual Slide Transfer

  

WHS-T3
MANUAL SLIDE TRANSFER
수동 슬라이드 트랜스퍼

Wafer Size:3" 4" 6" 8"

 

      

 

-Type:Manual
-25 slot
 

 

Automatic Notch Aligner

Automatic-flat-aligner

Manual-notch-aligner

Manual-flat-aligner

 웨이퍼 및 카세트 접지 경로를 갖춘 정전기 방지 구조
유지 관리가 필요 없는 정밀 슬라이드 레일
내화학성 재질
   

Portable Wand

Vacuum Wand Set

Vacuum tips

Vacuum Handles

  
 
     

Wafer 3-point mechanical gripper

Wafer Edge Pick

 -Shipping/receiving area:웨이퍼 트랜스퍼는 들어오는 웨이퍼를 운송 카세트에서 WIP 생산 카세트로 이동하는 데 사용됩니다.

-Epitaxial area:웨이퍼 트랜스퍼는 들어오는 웨이퍼를 배송 카세트에서 WIP 생산 또는 특수 EPI 프로세스 카세트로 이동하는 데 사용됩니다.
     

Aluminum Process Cassettes

Aluminum Box Cassettes

Stainless Steel Process Cassettes

Process Cassettes 300mm

 Wet chemistry areas:웨이퍼 트랜스퍼는 웨이퍼가 습식 화학 영역에 들어갈 때 WIP 생산 카세트와 습식 공정 Teflon PFA 카세트 사이에서 웨이퍼를 이동하는 데 사용됩니다. Thermal process bake areas: 웨이퍼 트랜스퍼는 웨이퍼가 열 공정 베이크 공정 영역에 들어갈 때 WIP 생산 카세트와 금속 또는 석영 카세트 사이에서 웨이퍼를 이동하는 데 사용됩니다.
     

Mask Pick - Side Grip

Mask Pick - Horizontal Grip

 Probe and test areas:웨이퍼 트랜스퍼는 들어오는 웨이퍼를 운송 카세트에서 WIP 생산 카세트로 이동하는 데 사용됩니다. 계측 및 검사 영역:웨이퍼 트랜스퍼는 웨이퍼의 결함 및 기타 품질 관리 조치를 분석하고 검사하는 계측 및 검사 영역에서도 발생할 수 있습니다.
     

Manual Reticle SMIF Pod Opener, RSP150

Manual FOUP Opener, 300 mm

 Wafer Flipping/Inverting: 웨이퍼 트랜스퍼는 웨이퍼를 한 카세트에서 180° 반전된 다른 카세트로 이동하는 데 사용됩니다. 반도체 제조에는 웨이퍼 뒷면 작업과 관련된 다양한 공정이 있습니다. 이러한 공정에는 후면 리소그래피, 에칭, 증착, 본딩 등이 포함될 수 있습니다. 이러한 공정을 수행하려면 제조업체는 뒷면이 위를 향하도록 웨이퍼를 뒤집어야 합니다. T3 시리즈는 두 개의 SEMI 규격 웨이퍼 카세트 사이에서 웨이퍼를 안전하게 이송하기 위한 정밀 수동 수평 벌크 웨이퍼 슬라이드 이송 장치입니다.
하이 및 로우 프로파일 플라스틱 공정, 금속 카세트 및 H-BAR이 있는 대부분의 배송 카세트와 호환됩니다.
UHMW 베어링 블록과 쌍을 이루는 고급 코팅 로드로 설계된 부드럽고 서비스가 필요 없는 슬라이드 레일 시스템이 특징입니다.
정전기 방지, 마모 및 내화학성 소재. ISO 클래스 4.
     

Automatic Wafer Presenter

Manual Five-Wafer Lift Presenter

Manual Single Wafer Presenter

21-manual-wafer-escalators

  

 
 


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