WHS-T1
SAFEGUARD WAFER TRANSFER
세이프가드 웨이퍼 트랜스퍼
Wafer Size:3" 4" 6" 8"
-Type:Automatic
-25 slot
Thin, Compound, High-Value Wafer Handling
Gentle lift of wafers, no abrasion
Touch Screen Display
Programmable speed
짝수/홀수 웨이퍼 이송
Wafer flipping/Inverting
운송 카세트에서 WIP 생산 카세트로 이동하는 데 사용됩니다.
-Epitaxial area:웨이퍼 트랜스퍼는 들어오는 웨이퍼를 배송 카세트에서 WIP 생산 또는
특수 EPI 프로세스 카세트로 이동하는 데 사용됩니다.
이동하는 데 사용됩니다.
들어갈 때 WIP 생산 카세트와 금속 또는 석영 카세트 사이에서 웨이퍼를
이동하는 데 사용됩니다.
검사하는 계측 및 검사 영역에서도 발생할 수 있습니다..
Stage: Anti-Static PEEK
Rods: Carbon Fiber
Type:Automatic System
한 카세트에서 180° 반전된 다른 카세트로 이동하는 데 사용됩니다.
반도체 제조에는 웨이퍼 뒷면 작업과 관련된 다양한 공정이 있습니다.
이러한 공정에는 후면 리소그래피, 에칭, 증착, 본딩 등이
포함될 수 있습니다.
이러한 공정을 수행하려면 제조업체는 뒷면이 위를 향하도록 웨이퍼를
뒤집어야 합니다.
첨단기술로 76mm에서 최대 200mm 웨이퍼까지 가능한 자동SafeGuard 웨이퍼트랜스퍼.
InP, GaAs, GaN 및 SiC 복합 웨이퍼 처리용으로 설계되었습니다.
웨이퍼 가장자리를 마모나 충격으로부터 보호하여 웨이퍼를 부드럽게 들어올리기 위한
전동식 25세트 트랜스퍼 암 어셈블리가 특징으로 수율을 높입니다.
표준 작동을 위한 터치스크린 레시피 소프트웨어와 모터, 축 제어, 이벤트 로깅을 위한
비밀번호로 보호되는 서비스 메뉴. 얇고 접착된 웨이퍼와 호환됩니다.
ISO 3(FS209E 클래스 1) 클린룸 호환.SEMI 준수 하이 및 로우 프로파일 카세트
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