교육: 알루미늄 테스트 웨이퍼는 새로운 작업자에게 웨이퍼 취급 기술을 교육하는 데 사용됩니다.
이를 통해 더 비싸고 깨지기 쉬운 생산 웨이퍼를 취급하기 전에 기술을 연습하고 개발할 수 있습니다.
자동화 교육: 알루미늄 웨이퍼는 자동화에서 로봇 동작을 가르치는 데 자주 사용되므로
엔지니어는 더 깨지기 쉽고 값비싼 실리콘 웨이퍼로 이동하기 전에
내구성이 뛰어난 알루미늄 웨이퍼를 사용하여 로봇 동작을 테스트하고 개선할 수 있습니다.
보호: 알루미늄 웨이퍼는 도구가 챔버 청소 주기를 진행할 때
프로세스 도구 챔버 내부의 깨지기 쉬운 웨이퍼 척을 덮는 보호 정전기 척(PEC) 웨이퍼로 사용되어
청소 프로세스 중에 민감한 척의 손상을 방지할 수 있습니다.

WHS-W는 노치, 무마무리 코팅, 두꺼운 알루미늄 테스트 웨이퍼로, 결정질 구조가 변형 및 휘어짐에
더 강한 저항성을 갖도록 열처리되었습니다.
로봇 교육, 웨이퍼 취급 교육, 캐리어 웨이퍼에 사용하고 챔버 청소 시 PEC 정전 척 커버로 사용합니다.

품명	설명	납기
WHS-W-1201	300mm, Notch, Heat treated Bare Aluminum Test Wafer	2-6 weeks
WHS-W-401	100mm, Flat, Heat treated Bare Aluminum Test Wafer	2-6 weeks
WHS-W-601	150mm, Flat, Heat treated Bare Aluminum Test Wafer	2-6 weeks
WHS-W-801	200mm, Notch, Heat treated Bare Aluminum Test Wafer	2-6 weeks

재성ITS co.

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