스핀코터(Spincoater)

마스크얼라이너(Mask Aligner)

 
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Wafer Handling System
               
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Mask Picks
     
 

Sorters

SafeGuard Thin/Compound

Automatic Slide Transfer

Manual Slide Transfer

 

WHS-L2
Mask Pick-Horizontal Grip(홀더 포함)

마스크픽 -수평그립

MASK SIZE(인치)
5X5X0.090
6X6X0.120
6X6X0.250
7X7X0.120
7X7X0.150
9X9X0.120

WHS-L1-6250
WHS-L1-6250 그립부분

 

     
 

Mask Pick - Side Grip

Automatic Notch Aligner

Automatic-flat-aligner

Manual-notch-aligner

Manual-flat-aligner

Normally-Closed Tangential-Edge Handling
정전기 방지구조(With Ground Path)
인체공학 적인 왼손/오른손 사용
조정 가능한 그립력
적용 분야:Transfers, Inspection, Mask Aligners, Cleaning
   

Portable Wand

Vacuum Wand Set

Vacuum tips

Vacuum Handles

WHS-L2-6250
WHS-L2-6250 with holder
     

Wafer 3-point mechanical gripper

Wafer Edge Pick

Transfer - Stock Room의 마스크 라이브러리의 보관 상자와 레티클 SMIF 포드(RSP), Nikon 카트리지 레티클 상자 또는
Canon 카트리지 레티클 상자와 같은 생산 마스크 상자 간에 수동으로 포토마스크 및 레티클을 전송합니다.

Inspection -마스크 취급 작업자가 마스크에 바코드 ID, 입자, 크롬 결함, 오염 또는 펠리클 프레임이나 필름 손상이 있는지
육안으로 검사하는 매크로 무결성 검사를 수행합니다.

Mask aligners -마스크 픽을 사용하여 포토리소그래피 마스크 정렬기 도구를 로드 및 언로드합니다.

계측 - 마스크 픽을 사용하여 마스크와 레티클을 검사하기 위한 현미경 및 계측 도구를 로드 및 언로드합니다.

Cleaning - 부분 청소 및 완전 침수 솔벤트 청소와 같은 일반 청소 작업 중 포토마스크를 취급합니다.

Mask shops -제조 생산 분야 및 마스크 상점의 마스크 수리에 일반적으로 사용됩니다.

WHS-L2는 크롬과의 접촉을 제거하여 오염을 줄이기 위해, tangential edge에서
5"~9" 정사각형 포토마스크를 처리하기 위한 상시 폐쇄(일정한 힘)ㅡMechanical Pick입니다.

수명, 정전기 방지 특성 및 일반적인 내화학성을 위한 고급 그리퍼 제조.
ISO 클래스 3.
 

Aluminum Process Cassettes

Aluminum Box Cassettes

Stainless Steel Process Cassettes

Process Cassettes 300mm

     

Mask Pick - Side Grip

Mask Pick - Horizontal Grip

품명
설명
납기
WHS-L1-5090
Mechanical Mask Pick, Side Grip, 5x5x0.090" with Holder
2-6 weeks
WHS-L1-6120
Mechanical Mask Pick, Side Grip, 6x6x0.120" with Tabletop Holder
2-6 weeks
WHS-L1-6250
Mechanical Mask Pick, Side Grip, 6x6x0.250" with Tabletop Holder
2-6 weeks
WHS-L1-7120
Mechanical Mask Pick, Side Grip, 7x7x0.120" with Tabletop Holder
2-6 weeks
WHS-L1-7150
Mechanical Mask Pick, Side Grip, 7x7x0.150" with Tabletop Holder
2-6 weeks
WHS-L1-9120
Mechanical Mask Pick, Side Grip, 9x9x0.120" with Tabletop Holder
2-6 weeks
WHS-L2-5090
Mechanical Mask Pick, Horizontal Offset, 5x5x0.090 with Tabletop Holder
2-6 weeks
WHS-L2-6120
Mechanical Mask Pick, Horizontal Offset, 6x6x0.120 with Tabletop Holder
2-6 weeks
WHS-L2-6250
Mechanical Mask Pick, Horizontal Offset, 6x6x0.250 with Tabletop Holder
2-6 weeks
WHS-L2-7120
Mechanical Mask Pick, Horizontal Offset, 7x7x0.120 with Tabletop Holder
2-6 weeks
WHS-L2-7150
Mechanical Mask Pick, Horizontal Offset, 7x7x0.150 with Tabletop Holder
2-6 weeks
WHS-L2-9120
Mechanical Mask Pick, Horizontal Offset, 9x9x0.120 with Tabletop Holder
2-6 weeks
 

Manual Reticle SMIF Pod Opener, RSP150

Manual FOUP Opener, 300 mm

 

Automatic Wafer Presenter

Manual Five-Wafer Lift Presenter

Manual Single Wafer Presenter

21-manual-wafer-escalators

 


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