Aluminum Process Cassettes
Aluminum Box Cassettes
Stainless Steel Process Cassettes
Process Cassettes 300mm |
- 정렬 - 웨이퍼 플랫 및 노치 정렬기는 반도체 산업에서 리소그래피, 증착, 에칭과 같은 다양한 공정 중에 웨이퍼의 방향이 올바른지 확인하는 데 사용됩니다.
플랫 얼라이너는 웨이퍼의 결정 격자 구조 방향에 해당하는 노치 또는 플랫을 가지고 있습니다.
웨이퍼의 방향이 최종 반도체 장치의 성능과 기능에 영향을 미치기 때문에 이는 매우 중요합니다.
- 로트 무결성 - 정렬기는 반도체 산업에서 운영자가 로트 무결성 검사를 수행하는 데 도움을 주기 위해 사용되기도 합니다.
작업자가 볼 수 있도록 웨이퍼 가장자리의 식별 표시인 웨이퍼 스크라이브를 회전시킴으로써
작업자는 올바른 로트의 웨이퍼가 생산 도구에 로드되고 있는지 확인할 수 있습니다.
이는 오류를 방지하고 일관된 제품 품질을 보장하는 중요한 단계입니다.
- 가장자리 검사 - 웨이퍼 플랫 및 노치 정렬 장치는 반도체 산업에서 웨이퍼의 가장자리 결함을 검사하는 데에도 사용됩니다
이 매크로 검사 절차는 일반적으로 광원 아래에서 수행되며 웨이퍼 가장자리에 칩, 균열 또는 기타 결함이 있는지 검사하는 작업이 포함됩니다.
이는 후속 처리 단계에서 웨이퍼 파손을 방지하는 중요한 단계입니다.
가장자리 결함으로 인해 웨이퍼가 약해지고 파손되거나 실패할 수 있기 때문입니다.
웨이퍼 플랫 및 노치얼라이너를 사용하여 이러한 결함을 식별하고 검사함으로써
작업자는 결함이 있는 웨이퍼의 추가 처리를 방지하고 비용이 많이 드는 생산 지연을 방지하기 위한 조치를 취할 수 있습니다.
WHS-A5 시리즈는 76mm ~ 150mm 1차 웨이퍼 플랫의 상하 정렬을 위한 경제적인 정전기 방지 플랫 얼라이너입니다
. 고급 내마모성, 정전기 분산 스테이지 및 롤러 재질이 특징입니다. 유지보수가 적고 수명이 길다. ISO 클래스 4
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Mask Pick - Side Grip
Mask Pick - Horizontal Grip |
품명 |
스펙 |
납 기 |
WHS-A1-301 |
Automatic Flatfinder, Antistatic, 76mm |
2-6 weeks |
WHS-A1-401 |
Automatic Flatfinder, Antistatic, 100mm |
2-6 weeks |
WHS-A1-601 |
Automatic Flatfinder, Antistatic, 150mm |
2-6 weeks |
WHS-A1-701 |
Automatic Flatfinder, Antistatic, Multisize, 76,100,125,150mm |
2-6 weeks |
WHS-A1-801 |
Automatic Flatfinder, Antistatic, 200mm |
2-6 weeks |
WHS-A2-301 |
Manual Flatfinder, Antistatic, 76mm |
2-6 weeks |
WHS-A2-401 |
Manual Flatfinder, Antistatic, 100mm |
2-6 weeks |
WHS-A2-601 |
Manual Flatfinder, Antistatic, 150mm |
2-6 weeks |
WHS-A2-701 |
Manual Flatfinder, Antistatic, Multisize, 76,100,125,150mm |
2-6 weeks |
WHS-A2-801 |
Manual Flatfinder, Antistatic, 200mm |
2-6 weeks |
WHS-A3-801 |
Automatic Notch Aligner 8" (200 mm) |
2-6 weeks |
WHS-A4-601 |
Manual Notch Aligner 6" (200 mm) |
2-6 weeks |
WHS-A4-801 |
Manual Notch Aligner 8" (200 mm) |
2-6 weeks |
WHS-A5-301 |
Economy Manual Flatfinder, Antistatic, 76mm, Single Turn Knob |
2 weeks |
WHS-A5-401 |
Economy Manual Flatfinder, Antistatic, 100mm, Single Turn Knob |
2 weeks |
WHS-A5-601 |
Economy Manual Flatfinder, Antistatic, 150mm, Single Turn Knob |
2 weeks |
WHS-A6-301 |
Economy Manual Flatfinder, Antistatic, 76mm, Dual Turn Knob |
2 weeks |
WHS-A6-401 |
Economy Manual Flatfinder, Antistatic, 100mm, Dual Turn Knob |
2 weeks |
WHS-A6-601 |
Economy Manual Flatfinder, Antistatic, 150mm, Dual Turn Knob |
2 weeks |
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