Four-Point-Probes

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Jandel Engineering Limited

Jandel 4Point Probe 헤드

Jandel 은 이미 전세계에 공급되어 있는 어느 모델에도 사용할 수 있는 고품질의 four-point probe head를 공급하고 있습니다. 이들 고성능 four-point resistivity probe head는 30년동안 OEM 으로도 공급하여 왔으며 많은 resistivity measurement system의 표준으로 되어 왔습니다.

Features include:

알미늄 합금의 상하 가이드
내구성의 텅스텐 카바이드 니들(오스뮴 합금 가능)
간섭계에 의한 팁의 간격 및 반경 측정
electronic force gauge에 의한 하중 측정
모든 시스템에 탑재할 수 있는 3가지 기본 모델
누설 전류 방지를 위한 양극산화막을 입힌 알미늄 합금 및 테프론 내부구조
그외의 제품

고진공, 크라이오 제닉, 고온, 5-POINT PROBE, 밀폐, 홀 효과 specialty probe
챠트 프로브 팁 간격, 팁 반경

Probe Head Application Chart
Click on probe head style or probe image below for additional information
Cylindrical Probe for use with:	쟌델 멀티 포지션 웨이퍼 프로버, 수동형 프로브, 웨이퍼 매핑 등 에 적용
Four Pin Probe 아래의 제품과 병용	Napson
Cartridge with Lead 아래의 제품과 병용	ASM, PIE, Veeco AP150 (w/fell adaptor), Veeco FPP5000 (upside down-also w/fell adaptor), Parc-Amber 그외
Six Way Probe 아래의 제품과 병용	Prometrix, KLA/Tencor, CDE
Compact Probe 아래의 제품과 병용	Veeco FPP5000 (upside down-in Alessi adaptor), Veeco FPP100 (old model with force balance - also in Alessi adaptor), GRQ Instruments equipment
Miniature Cartridge 아래의 제품과 병용	Kokusai , 구형 Napson
Miniature Cartridge with 6-32 tapped holes 아래의 제품과 병용	Signatone, Magnetron, Chang Min
Macor Probe Head 아래의 제품과 병용	다양한 고온/저온 엔지니어링에 적용
Hall Effect Probe Head	홀 이펙트(hall effect) 측정용 쟌델 l Square Array Probe

4 Point Probe Head Specifications
PROBE SPACING	25-50 mils by 5 mil increments: 1.00 mm 1/2(pi) cm (1.591 mm or about 62.6 mils)
TOLERANCE	+/-0.01 mm
ARRANGEMENT	Linear or Square array
NEEDLES	Solid Tungsten carbide Ø 0.40 mm (Ø 0.30 mm for close-spacing) 45 degree included angle, phosphor-bronze connecting ligament
OTHER MATERIALS	50% osmium alloy tips available
RADII	12.5 μm min. to 500 μm max. polished with 2 μm diamond
RETRACTION TO INSULATING PAD	0.5 mm
PLANARITY	+/- 0.025 mm or better
LOADS:
CARTRIDGE (Preset)	10g min. to 250g max. per needle. Not user adjustable
CYLINDRICAL AND COMPACT (adjustable)	Low: 10-30g, Medium: 30-60g High: 60-150g
LEADS	4-way cable Teflon insulated (screened on cylindrical)
ELECTRICAL LEAKAGE	10¹³ ohms resistance between needles at 100 volts

Tel 031-479-4211/2

Fax 031-479-4213

Email JSi@JSiTS.com