Universal-Probe(유니버셜 프로브)

적용

• 웨이퍼의 저항치 측정
• 에피텍셜, 디퓨즈 레이어의 저항 측정(여기에서 밑의 층은 반대 극성이거나 절연층이어야 합니다)
• 3-Point Spreading resistance 측정

• 프로브 위치 정확도; +/- 0.01mm,

사양- 프로브 니들

Material

0.5mm diameter tungsten carbide, 길이 26mm 45 도, 25 micron 팁 반경( micron까지 가능)

간격

1.00mm, 1.27mm, 1.59mm - tolerance +/- 0.01mm

동작거리

4mm

절연 저항

2 x 10⁵ megOhms at 500 volts

허용 하중

0-100 gram

시료

슬라이스 형태, 76mm 직경까지 가능

마운트 테이블

Ball bearing co-ordinate table with 0-25mm x 0.01mm micrometer screws (others available to order) , 14mm 높이의 진공 어댑터

외형

480mm x 320mm x 320mm

장비무게

7 Kg