Four-Point-Probes

Superior Quad-Pro controller system은 저항치, 전도성 필름의 두께 측정 및 평균, 표준치, 로그 데이터의 계산, 호스트나 엑셀화일로 데이터를 전송하는데 사용한다. 시스템은 수동의 4-포인트 프로브와 DVM을 조합하여 제작되었으며,테스트 공정은 Dual Configuration & Integration을 사용하며 1 미리 오옴에서 2메가오옴/ㅁ 의 범위 내에서 1%이하의 오차범위를 갖습니다. 실시간 전류 테스트 포인트의 디스플레이와 측정결과가 가능하다.어느 테스트의 위치가 의심스러우면 결과를 리셋하고 재측정하면 된다. 결과는 ASCII 파일로 저장하며 LAN을 통하여 호스트 컴퓨터에 전달한다.. 다른 옵션은 온도 콘트롤 기능의추가 및 Temperature Coefficient of Resistance (TCR) 의 측정 이다. 자동화를 위해 웨이퍼 핸들러를 추가할수 있다. . 다른 옵션은 온도 콘트롤 기능의추가 및 Temperature Coefficient of Resistance (TCR) 의 측정 이다. 자동화를 위해 웨이퍼 핸들러를 추가할수 있다.

웨이퍼 상에서 테스트할 위치를 미리 볼수 있다.(5 또는 9 포인트)
각 포인트에서 데이터를 읽어서 표면 저항치나 두께를 계산한다.
테스트 결과에서 어느 한점을 선택하여 재 테스트 할 수 있다.
data file :
- 날짜
- 시간
- 로트
- 웨이터
- 담당자
- 편균치
- 표준 편차
데이터를 LAN을 통하여 호스트 컴퓨터에 전송하거나 분석을 위해 spreadsheet 에 옮길수 있다.
50mm ~300 mm 웨이퍼에 적용한다.
온도 콘트롤은 -65°C 와 400°C ( 200°C ,300mm )으로 옵션이다
하드웨어;

시스템 사양:

6" 테플론 절연 디스크를 장치한 4-point probe head 와 mounting
콘트롤러와 측정기에 장착된 랙
데이터 저장 기능
GPIB 인터페이스 및 NIST trace 기능
SP4-62.5-85-TC 4-point probe-head중의 한가지를 장착한 62.5 mil 간격,85 g 스프링 압력, 1.6 mil tip dia 의 텅스텐 카바이드 팁.
DVM (Digital Volt Meter)
전류원(Current Source )
Windows 98 OS
15" 모니터, 키보드, 마우스
GPIB 인터페이스보드 및 케이블
NIST trace 매뉴얼
설치 매뉴얼
수동식 4-point probe head 와 a 100 mm, 150mm, 200mm, or 300mm절연 디스크를 가진 마운팅 스탠드.
측정기를 장착한 콘트롤러

적용 이론

표면 저항 측정 및 저항, 두께의 계산

프로브 포인트 사이의 간격이 일정하다면, 전도성 필름의 두께는 간격의 40%이하이며, 필름 에지는 측정 포인트로부터의 간격의 4배 이상이다. 필름의 평균 저항 또는 표면저항은 다음과 같다.

Rs = 4.53 x V/I

필름의 두께( cm)와 저항치( ohm cm) 는 Rs와 관련해서:

Rs = resistivity/thickness

그러므로 e Quad Pro은 필름의 두께를 알면 저항치를 계산할수 있으며, 저항치를 미리 알면 필림의 두께를 계산할 수 있는 것이다..

Superior 쿼드프로 Four Point Resistivity System