5 포인트 프로브 |
|
5 번째 "thickness probe" 는 500 미크론 이상의 웨이퍼 두께를 측정하는데에 사용합니다. 5번째 프로브는 웨이퍼상에 형성된 다이오드의 극성을 결정하는데에도 사용됩니다 교류전류를 4 포인트 프로브로 흘린다면, 정류된 교류 신호의 극성이 conductivity type 임을 알려줍니다. |
|
5-Point "Thickness"
프로브
5-Point "Typing" 프로브
Close Up of 5 Point
Probe |
|
|
|
