마스크얼라이너 & 노광기
Mask Aligner & Exposure Unit                                                        Home

 

【별매】간이 암실(dark room) SDR-182
●암실은 카메라의 필수품입니다. 그렇지만 의외로 스페이스를 잡는 것.
●이 암실은, 컴팩트 설계의 태양 스코프 본체에 맞춘 공간절약 타입이며 작업 효율을 고려한 기능 중시형입니다.

사양
■본체 외형 치수 : 폭1124 × 안길이1000 × 높이1820mm : 원하는 치수 주문제작 가능
■중량 /15kg

이동용 바퀴 장착 가능 :옵션


 


LightBox-50 노광기 :단면노광

-리소그래피용 고해상도 노광

 


 

 UV lightsource system (Fine Resolution용 UV 노광기)
 :10 micron급 미세패턴 제작용
    

Model JPUV-200, JPUV-300

 

                        
구성 : Parallel UV-light 소스 ,마스크홀더, UV source controller

 * 본 UV Ecposure unit는 미세패턴용(10 micron Resolution) 노광기 로서 반도체 공정이나 Fine Resolution PCB 제작용입니다,

Spec & Detail

 

JPUV-200

JPUV-300

Effective exposure area

205x205 mm

305x305 mm

Exposure type

Single side Exposure

Exposure Time control
Light integrator Method
Light source

3Kw 초고압수은등

Optical mirror type

flat-mirror Type

Lamp life time

1100 hr

U.V. intensity

15㎽/㎠

12㎽/㎠

Uniformity

92%

Resolution

10~um

Wave length

365~405 nm

Half angle coliimasion

less than 1.5˚

Declination angle

less than 1.5˚

UV exposing type

light integrating system

Cooling type

air cooling

Mask Holder

Vacuum Or Mechanical Type

Alignment
Not Included (Optional)
     
Dimension,wxdxh mm
550x1050x1550
750x1550x2050

 

 

 

 

 

 

 

Mask Aligner(마스크얼라이너,평행광 노광기)

  

 

Mask Aligner(마스크얼라이너),평행광 노광기,모델 JSM-4S

*노광원 :초고압 수은등또는 LED(365nm,405nm),
*단면 노광
*Resolution : 1micron
*노광 면적 : ø 100mm ,dia. 125mm ,dia. 200mm?
*마스크사이즈: 최대 5인치 125mm x125mm, 6인치 150mmx 150mm,9인치(235mmx 235mm)
*시료대:진공흡착 고정식 Glass Mask (필름마스크도 가능)
*시료 두께:최대 2MM

*매니퓨레이터 이동범위:
  X,Y: ±12 MM, 미동 1/8MM 1회전, Z: 12MM? ,미동 0.2 MM, θ: ±7도
* collimate half angle 1.° 이내
*현미경,램프하우스 : 개별 회전 이동 식(수동)
*노광용 타이머: 0~999초 디지털 방식
*램프 냉각 팬용 ON/OFF 지연 타이머 :
*치수 :WxDxH/중량 : 850X650X900mm, 약 80 Kg,
*AC 220V 50/60 Hz, 11A
*현미경 ★현미경: 200~500배줌
*모니터 및 CCD카메라
*진공 로터리 펌프 포함

 

 

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