HOME

    MA-20                         
KT-400

  • 균일하고 높은 조사분포
  • 노광용 전원 내장
  • 간단한 조작으로 전후, 상하제어
  • 이시야 현미경을 채용하여 빠르고 확실한 얼라인먼트
  • 다양한 시료 및 마스크 적용
  • 경량, 콤팩트이므로 이동 용이

 

   미    경

모델 명
MA-10

현    미    경

쌍대물 쌍안 현미경 7형, 광축거리 약 18~16MM

조           명

100V, 150W, 할로겐 램프 라이트 가이드식 수직 반사

램프 하우스

130Φ 평행광속, 셔터내장, 낸각 팬 덕트 방식

노 광  광 원

초고압 수은등 250W (500W 사용가)

노광용 타이머

0~999.9초 디지털 세트 방식

공           압

현미경 구동용 5Kg/CM2

진           공

0.5~0.8 Kg/CM2

마스크 홀더

진공흡착 고정식

마스크 글래스

진공흡착 고정식(필름 마스크 사용가)

마스크 사이즈

최대  5 인치X 5 인치

시    료    대

진공흡착 고정식

시           료

진공흡착 고정식

시료  사이즈

최대 4 인치Ø

시 료   두 께

최대 2MM

매니퓨레이터 이동범위

X,Y: ±5 MM, 미동 1/8MM 1회전, Z: 3MM  ,미동 0.2 MM, θ: ±7도

+자동 스테이지 이동 범위

± 20MM

전            원

AC 100V 50/60 Hz, 20A

DIMENSION

760W  X 640H X 800D   MM

수은등 점등 장치

내장

중            량(본체)

200 Kg

중            량(점등장치)

내장

 

 

경기도 안양시 동안구 호계동 555-9
안양 국제 유통단지 17동 127호

Tel : (031) 479-4211/2, Fax : (031) 479-4213
1992-2001 ,Jsi.co. All rights reserved.

                                                             To contact us : jsi@jsits.com