재성ITS co.  
 

스핀코터 견적시 필요사항:

a. Application : 사용하려고 하는 작업

b. Liquid Chemical(s) : 코팅또는 사용하려는 용액

c. Available process :필요 스텝 단계및 필요 메모리 수

d. Expected performance : 박막 생성시 필요한 기능 ..두께 균일도, Puddle 기능,N2퍼지, 가속도(Ramp up down)

e. 사용하려는 시료 ? 웨이퍼 , 글래스 , 조각?

f. "Table Top" Model or "In-deck" (OEM) Installed Model : 테이블탑형인가 ? 글로브 박스용?시스템 구성용?

g. Model MCD (Manual Chemical Dispense or ACD (Automatic Chemical Dispense) : 디스펜스 기능 (오토, 수동 선택)

h. Preferred /needed Spinner housing and chuck Material = NPP or TFM Teflon : 스핀코터 하우징 재질? NPP, TFT?

j. Acceleration / Deceleration required (if other than standard 1- 30,000 rpm/sec) : 가속도 , 램프 업 다운,

k. Use Standard Vacuum Chuck or Mechanical Chuck =low Contact Saddle Pins : 베큠척 ? 메카니컬 척?

l. Use non standard porous or other chuck(s) : 특수한 용도의 척 필요?

m. In-House Vacuum available or extra Vacuum Pump required : 베큠 펌프 필요 여부?

n. Voltage and Frequency e.g.: 230 VAC 50/60 Hz

o. Other facilities options, Chemical Tanks, Chem. Distribution, Wet Bench etc. n. Does customer need special cabinet and/or chemical supply/distribute cabinet

p. 구입 가능한 예산 범위?

q. 기타 필요한 요구사항?

r. 특별한 작업용도로서의 스핀코터 요구?

s. 대략적인 구입 예상 시기?

t. 필요한 납기?

u. 구매시 , 결제시 요구사항?

v. 구매처의 종류? 학교? 연구소? 기업?

w. Full Address,Tel / Fax Numbers / E mail address etc.

x. 기타 문의 사항 www.sps-korea.com SPS-Korea co.

한국 총 판매처 :재성 ITS co.   

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언제든지 연락하여 주시기바랍니다.

 

 
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