사각글래스용 EBR

EBR

모델 JS-3030ED ,사각기판 EBR용 디스펜서


-사각기판 EBR 장용 장치

-30mm x 30mm 시료의 에지부분을 리무벌 하기 위한 장비

-시료 사이즈 :25 x 25mm , 30 x 30mm Glass

-2 Stepping Moter (기판 회전. 및 x축 노즐 이동 )

-2노즐 장착 (솔류션,N2)

-기판 고정 방식 :진공 흡착 고정식

-재질 :PP 또는 SUS

-Removal 폭 :2~5 mm

-Solution : IPA or 메탄올..

-스프레이 분사방식 : 압축 공기 방식,분사 알력 조절 밸브 장착

-압력 베슬 :1 liter 용량

-Timer 설정 :0~999sec. 디지털 타이머

-드레인통 :20리터

-진 공: 0.5~0.8 Kg/CM2

-전 원 : AC 220V 50/60 Hz, 10A
-치수 : 600W X 600D X 400H mm :변동가능
-중 량(본체) : 20 Kg

 

 

 

 
   

Jsi-803ARD Spin Spin Etcher, Rinsing Dryer,EBR(Edge Bead Removal)

-EBR용도로 사용가능(웨이퍼용)

-Full 플래스틱 하우징

-시료 : 웨이퍼 , 글래스

-시료크기 :Single wafer process, 6~12inch

-Acid-resistant materials and structure

-Etching ,Rinsing, Dry 가능
- 3 Nozzle, (1nozzle for Acid washing, 2nozzle for DI-Water Rinsing)
-Body & Bowl :PVC
-Max Substrate :최대 200 MM Φ 150mm x 150mm
-Speed :100~3000rpm RPM
-Acuracy :+-0.5%,Speed Control Motor
-Step :3steps,
-Timer:0-999 seconds
-기본 Chuck 포함
Dimension : 430w*430h*370d mm :8인치 기준
용도:웨이퍼 ,글라스 코팅, 린싱,

Spin coater JS 시리즈

기종

스핀코터
스핀 린스, 드라이어
스핀 디벨로퍼
스핀에처
Remarks

시료 크기

직경기준: 150∼500 mm이하

직경기준: 150∼500 mm이하

직경기준: 150∼500 mm이하

직경기준: 150∼500 mm이하

유저 와 협의

보울(Bowl) 재질

스텐레스 또는 NPP

스텐레스 또는 NPP

스텐레스 또는 NPP

스텐레스 또는 NPP

본체 재질

Suss, 스텐레스 재질

Suss, 스텐레스 재질

Suss, 스텐레스 재질

Suss, 스텐레스 재질

스핀 모터

스피드 콘트롤 모터

스피드 콘트롤 모터

스피드 콘트롤 모터

스피드 콘트롤 모터

회전수

250∼6000rpm

250∼6000rpm

250∼6000rpm

250∼6000rpm

시료크기에 따라
변동

회전단수

3단(아날로그 타이머)

3단(아날로그 타이머)

3단(아날로그 타이머)

3단(아날로그 타이머)

유저 와 협의

0.2 sec∼500hrs

0.2 sec∼500hrs

0.2 sec∼500hrs

0.2 sec∼500hrs

전원

AC220V

AC220V

AC220V

AC220V

CDA or N2

       
유저 와 협의

진공

200 Torr 이상

200 Torr 이상

200 Torr 이상

200 Torr 이상

토출 노즐 갯수

       
유저 와 협의

옵션

시료척 기본 1개

시료척 기본 1개

시료척 기본 1개

시료척 기본 1개

       

안전 커버

안전 커버

안전 커버

안전 커버

본체크기
       
수동형 또는 자동형은 유저와 협의에 의해 결정 가능

 

 

 



  • Drying
  • Rinse/clean
  • Etching
  • Manual coating
  • Automatic coating
  • Developing
    EBR(Edge Bead Removal)

재성ITS co.      Tel:031-479-4211/2   Fax:0504-460-0288

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